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电子电路装置的制造及其应用技术
  • 本实用新型公开了一种真空夹层式显示玻璃表面处理装置,包括清洗设备本体,清洗设备本体上装有输送辊组,清洗设备本体的两侧板上固定有支架,支架上固定有喷淋液管,喷淋液管下方设有多个雾化喷头,支架下方还设有分流机构;分流机构包括分流箱,雾化喷头间隔...
  • 本实用新型公开了一种曝光机用快速换膜机构,涉及曝光机技术领域,包括:支撑光罩,与所述支撑杆固定连接;伸缩机构,设置于所述支撑框内,用于对掩膜板进行移动;旋转机构,设置于所述伸缩机构上,用于对掩膜板进行旋转,便于对掩膜板进行更换;夹持机构,设...
  • 本发明实施例提供一种低低温电除尘器振打方法及系统,属于电除尘技术领域。所述方法包括:S10)采集电除尘器启动时刻的积灰参数;S20)基于电除尘器启动时刻的积灰参数确定当前振打轴的转动周期,并基于所述当前振打轴的转动周期控制所述振打轴转动进行...
  • 本文提供了控制装置、定位装置、光刻装置、物品制造方法和存储介质。控制装置基于由前馈控制器生成的前馈操纵变量来控制对象。装置包括确定器,该确定器进行操作以基于指示对象中的控制误差的变化的控制误差数据串以及指示在特定操纵变量被提供给对象时的对象...
  • 一种光致抗蚀剂图案形成方法,所述方法使用通常的光致抗蚀剂形成具有更大纵横比的图案;以及使用该形成方法制造的半导体器件。所述光致抗蚀剂图案形成方法通过在清洗步骤中使用加热的超纯水和/或加热的冲洗液,可以减少清洗后旋转干燥工艺过程中的图案塌陷缺...
  • 一种具有背侧导电层的空白掩模及利用其制造的光掩模。空白掩模包含附接到衬底的背侧的导电层,且导电层包含依序堆叠在衬底的背侧上的第一层、第二层以及第三层。第一层和第三层由含有铬(Cr)和氧(O)的材料制成,且第二层由不含有氧(O)但含有铬(Cr...
  • 一种用于混流式机组盘车过程轴系姿态获取的系统,它包括相位采集装置、镜板水平测量装置、摆度传感器;相位采集装置设置于主轴处,用于盘车时对主轴相位进行采集;镜板水平测量装置设置于旋转部件水平面上,用于盘车时对机组镜板水平度进行自动连续测量;摆度...
  • 本发明涉及静电除尘技术领域,目的是提供一种静电除尘装置的过滤系统,包括:安装组件,其放置在过滤管的上面;密封组件,其设置在安装组件的侧壁上;初滤组件,其设置在密封组件内;固定组件,其固定设置在初滤组件上;细滤组件,其固定设置在安装组件上,密...
  • 掩模版通常通过夹具被夹持到光刻设备中的卡盘。由夹具提供的力可以限制所述掩模版可以加速多快(例如如果掩模版加速太快,则掩模版的动量可能会破坏夹持力,并且掩模版可能在卡盘上滑动)。描述了一种新的运动控制系统,新的运动控制系统在加速期间对掩模版施...
  • 根据本发明的实施方式所公开的是一种相机致动器,该相机致动器包括:壳体;移动器,该移动器设置在壳体中;倾斜导引单元,该倾斜导引单元设置在壳体与移动器之间;驱动单元,该驱动单元设置在壳体中以驱动移动器;弹性构件,倾斜导引单元和移动器通过该弹性构...
  • 本发明公开了一种基于1 : 1正像投影成像的光刻系统、光刻方法及正像投影系统,光刻系统包括扫描工作台、平面驱动机构、用于放置掩模的掩模工作台、用于放置基板的基板工作台、光学系统,且掩模工作台与基板工作台相对位置保持不变;平面驱动机构被配置为...
  • 本实用新型涉及织布技术领域,尤其涉及一种八综多功能模块化拼接织布机。本实用新型提供了这样一种八综多功能模块化拼接织布机,包括有安装架、连接板、控制手柄和导线板等,安装架顶部固定连接有连接板,连接板前侧转动连接有八个控制手柄,安装架顶部左右两...
  • 本实用新型提供一种双后梁移动托架,包括后梁辊和对称安装在后梁辊两端的后梁托架,所述后梁辊在后梁托架之间设置有平行的两个,所述后梁托架上开设有两个滑移槽口,所述滑移槽口内滑动连接有滑动基座,所述后梁辊穿过滑动基座,所述两个后梁辊的一端均开设有...
  • 曝光装置具有除静电部,所述除静电部在支承基板的基板支承部件移动的期间内将所述基板支承部件所带的静电消除,所述基板支承部件具有导电性的主体部和导电性部件,所述导电性部件与由所述基板支承部件支承的所述基板相对置,且将所述基板所带的静电传导至所述...
  • 本发明公开一种修补平版印刷掩膜缺陷、特别是修补EUV掩膜的缺陷的方法、设备和计算机机程序。修补平版印刷掩膜(特别是EUV掩膜)缺陷的方法包含以下的步骤:(a.)以第一修补剂量对缺陷执行第一修补步骤,使该缺陷从初始拓扑转变成第一缺陷拓扑;(b...
  • 本申请涉及投影显示领域,公开一种激光投影设备,包括光源、照明光路、投影镜头和吸收装置;光源用于出射投影光束;照明光路包括空间光调制器件和全反射棱镜;空间光调制器件用于对入射的投影光束进行调制后出射影像光束和无效光束;吸收装置位于无效光束的出...
  • 本实用新型涉及机油滤清器类制造技术领域,具体为一种滤清器的滤芯结构,包括主体,主体包括滤清器外壳、底座装和滤芯结构;所述滤清器外壳底部与底座装置连接;所述底座装置内部连接滤芯结构;所述滤清器外壳顶部设有顶盖,顶盖顶端安装拧紧把手;所述底座装...
  • 本实用新型涉及风电塔架技术领域,尤其涉及一种用于风电塔架的新型组合转接结构。本实用新型包括与混凝土塔筒顶部连接的外钢壳和内钢壳,外钢壳内侧的底部固定有内钢壳,外钢壳和内钢壳之间填充有混凝土,外钢壳与内钢壳之间装配有加固机构,加固机构包括内腔...
  • 本实用新型提供了一种重力式防鼠单向阀,属于单向阀技术领域。它解决了现有单向阀无法有效防止老鼠、蟑螂等通过的问题。本重力式防鼠单向阀包括管体和铰接在管体出水口的阀板,管体的内壁中具有密封槽,密封槽沿管体出水口的周向边沿设置,当阀板在自身重力的...
  • 本实用新型公开了一种固废砂回收用分选装置,属于固废回收技术领域,该一种固废砂回收用分选装置,包括固定支架,所述固定支架上设置有分选槽,所述分选槽的内部通过横向挡板分隔出多个槽体,所述分选槽的右侧挡板向上延伸以形成有一组支撑板,每组所述横向挡...
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