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五金工具产品及配附件制造技术
一种用于塑料件表面磁控溅射镀膜的装置及镀膜方法
本发明公开了一种用于塑料件表面磁控溅射镀膜的装置及镀膜方法,涉及磁控溅射镀膜技术领域,包括罐体,还包括:转动设置于罐体内的旋转盘;磁控溅射组件,其包括至少两个磁控溅射靶;多向承托组件,其用于基材的承托,多向承托组件具有一初始位置,在初始位置...
一种叠层生长多层二维材料范德华异质结的方法
本发明公开了一种叠层生长多层二维材料范德华异质结的方法,该方法通过精确控制反应温度以及每一步的反应产物,实现逐层生长,制备出晶圆级、多层数、多种类的高质量范德华异质结薄膜。此外,本发明从物理气相沉积制备金属薄膜,到化学气相沉积得到目标产物,...
一种基于碳纳米结构过渡层的TaC复合涂层工艺及其产品
本发明涉及半导体材料制备的技术领域,提供了一种基于碳纳米结构过渡层的TaC复合涂层工艺及其产品。该方法包括以下步骤:a)基材表面预处理形成沟槽,b)通入碳源气体、在金属盐催化剂的作用下进行第一化学气相沉积生长成碳纳米颗粒,对步骤a)预处理后...
镁合金表面制备超疏水氧化铝涂层的方法
本发明隶属于金属材料表面处理领域,具体公开了镁合金表面制备超疏水氧化铝涂层的方法。该方法包括以下步骤:将镁合金放入三氯化铝溶液中水浴加热反应后在氩气气氛下吹干备用;结合高温加热发生失水反应,最后采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)气相沉积表面修饰...
形成MTJ势垒层薄膜的方法及溅射装置
本发明提供一种形成MTJ势垒层薄膜的方法,包括:在沉积势垒层薄膜前执行腔室环境处理步骤,包括:通过射频溅射的方式轰击第一靶材,以在腔室的四周内壁形成氧吸附层;对腔室进行氧处理,提供氧原子,使得氧吸附层与氧原子相结合;执行势垒层薄膜沉积步骤,...
一种旋转锌靶材及其制备方法和应用
本发明属于旋转锌靶材技术领域,公开一种旋转锌靶材及其制备方法和应用,所述旋转锌靶材,包括锌主体层(1)和设置在锌主体层(1)内侧的内衬管(2),锌主体层(1)设有锌工作表层(12)和Ni‑Cu合金过渡底层(11),所述锌工作表层(12)为超...
一种爆炸弧脉冲电源-磁过滤集成式真空离子镀膜方法及系统
本发明提供了一种爆炸弧脉冲电源‑磁过滤集成式真空离子镀膜方法及系统,包括:定义目标与约束、设计基础控制框架,将爆炸弧脉冲电源与磁过滤集成至真空腔中,得到第一控制框架;进行接口与数据流设计、在线诊断与数据驱动控制、热管理与安全互锁、集成控制和...
一种半导体设备零件的表面涂层工艺
本申请涉及一种半导体设备零件的表面涂层工艺,包括如下步骤:S1、含钇复合涂层沉积:将零件放入至ALD沉积设备中,通入前驱体进行涂层沉积,得到生长含钇复合涂层的零件;S2、等离子轰击:将生长含钇复合涂层的零件在等离子设备中进行等离子轰击,从而...
一种基于缓蚀剂浸渍反应的铝合金表面前处理方法
本发明涉及腐蚀防护技术领域,具体为一种基于缓蚀剂浸渍反应的铝合金表面前处理方法,在生长LDH膜层之前,先将铝合金浸入含氧酸盐类缓蚀剂溶液中进行预处理,在表面生成保护膜,以降低铝合金表面不同区域间的电位差,促进电化学分布更加均匀,从而促进后续...
一种抑制荧光缺陷的氧化钇涂层制备方法
本申请提供了一种抑制荧光缺陷的氧化钇涂层制备方法,包括:提供纯度大于99.99%的粉末,且80%的粉末粒径介于15μm‑45μm;煅烧该粉末,煅烧温度大于等于800℃,煅烧时长大于等于2h;以煅烧后的粉末为原料,采用等离子喷涂工艺形成氧化钇...
一种难熔元素合金耐熔盐蒸汽腐蚀层的表面处理方法
本发明涉及熔盐腐蚀领域,具体为一种难熔元素合金耐熔盐蒸汽腐蚀层的表面处理方法。该方法包括以下步骤:(1)在难熔元素合金部件表面渗入Si原子和Al原子,在金属表层形成Xn(Si, Al)m复合化合物层,X为难熔元素或其合金;(2)对表面渗入S...
纳米增强型珠宝保护涂层及其制备方法
本发明提供了一种纳米增强型珠宝保护涂层及其制备方法,旨在通过应用纳米材料技术,显著提高珠宝的耐久性和抗磨损能力,同时保持珠宝原有的光泽和美观。该涂层由金属纳米颗粒与透明高分子材料组成,利用物理气相沉积(PVD)技术沉积在珠宝基材表面,形成一...
一种用于真空离子镀金刚石或DLC的爆炸弧脉冲电源控制方法及系统
本发明属于真空离子镀技术领域,提供了一种用于真空离子镀金刚石或DLC的爆炸弧脉冲电源控制方法及系统,方法包括:初始化、最小控制窗口设定、数据监测和特征提取、最优调控参数匹配、控制器调控、历史调控数据收集、查找表动态更新;查找表构建流程包括:...
一种加热基座以及半导体设备
本申请提供一种加热基座以及半导体设备,加热基座包括第一承载部和第二承载部;具体的,第一承载部用于承载待加工对象,并用于在对待加工对象进行薄膜沉积处理时,加热待加工对象;第二承载部的至少部分环绕第一承载部设置;其中,第二承载部中设置有冷却装置...
抗裂纹低阻ITO膜及其制备方法
本发明涉及ITO膜制备技术领域,具体为抗裂纹低阻ITO膜及其制备方法,包括:基材,基材上设置有硬化层;硬化层由下至上设置有氮化硅层和氧化硅层;双层ITO结构,双层ITO结构设置在氧化硅层上,双层ITO结构由下至上的ITO层一、金属层以及IT...
一种高速钢刀具的玫瑰金色涂层制备方法
本发明提供一种高速钢刀具的玫瑰金色涂层制备方法,采用真空电弧离子镀法,在高速钢刀具的表面进行Ti离子刻蚀并同步沉积Ti层,然后通入N2和C2H2气体与Ti离子进行化合反应,形成玫瑰金色的离子并在Ti层上沉积Ti(C, N)层,最终形成玫瑰金...
一种用于断桥铝型材的物理气相沉积(PVD)涂层方法
本发明公开了一种用于断桥铝型材的物理气相沉积(PVD)涂层方法,该方法通过精密前处理、优化的多层级PVD沉积以及可选的等离子体聚合后处理,在型材表面形成高性能复合涂层。其中,沉积过程在专用PVD镀膜系统中完成,该系统通过可公转与自转的行星架...
匀气组件和半导体设备
本申请实施例提供了一种匀气组件和半导体设备,涉及半导体技术领域,能够抑制喷淋装置周围寄生等离子体,从而提高半导体设备的累计极限,提高生产效率。匀气组件,匀气组件包括喷淋装置和绝缘环,绝缘环套设于所述基体的外侧;喷淋装置包括:基体和位于基体一...
一种自适应润滑、耐腐蚀多功能GLC-CrCN复合薄膜及其制备方法
本发明属于材料表面工程以及物理气相沉积制备薄膜技术领域, 涉及一种自适应润滑、耐腐蚀多功能GLC‑CrCN复合薄膜及其制备方法,以304不锈钢为基底,采用磁控溅射复合多弧离子镀技术制备GLC‑CrCN复合涂层;该GLC‑CrCN复合涂层包括...
一种基于水分子极化效应的湿度传感器及其制备方法
本申请涉及湿度探测领域,具体提供了一种基于水分子极化效应的湿度传感器及其制备方法。传感器包括基底、导电薄膜层、电极,导电薄膜层设置于基底上,电极设置于导电薄膜层上,且设置于导电薄膜层的两端,传感器还包括极化材料层,极化材料层设置于导电薄膜层...
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