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半导体装置
一种半导体装置,具备第一导电型的漂移层(11)、第二导电型的体层(13)、下表面电极(28)、与栅极电极(20)连接的栅极布线(21)、栅极绝缘膜(19)以及上表面电极(26)。在体层的上表面侧的表层部中的位于栅极布线的下部的部分,形成有在...
半导体器件和制造该半导体器件的方法
本公开内容提供了半导体器件和制造该半导体器件的方法。半导体器件包括有源区域和结终端区域,该有源区域和该结终端区域各自包括:漏电极;第一导电类型的第一外延层,该第一外延层被设置在漏电极上;以及第一导电类型的第二外延层,该第二外延层被设置在第一...
半导体结构的制备方法
本发明提供了一种半导体结构的制备方法,包括:提供衬底,衬底上形成有外延层;依次形成多晶硅层和无定型碳层由下至上位于外延层上;形成图形化的光刻胶层位于无定型碳层上;以图形化的光刻胶层为掩模,刻蚀无定型碳层形成暴露多晶硅层的开口;以及,执行离子...
晶体管结构、垂直NAND闪存和方法
提供了一种用于垂直NAND闪存器件的晶体管结构。该晶体管结构包括半导体沟道层,以及沿着第一轴布置在半导体沟道层的两个相对侧处的第一辅助层和第二辅助层,并且第一辅助层和第二辅助层中的每一个包括具有第一相对介电常数的第一材料,第一相对介电常数大...
氧化物半导体薄膜晶体管
本发明涉及氧化物半导体薄膜晶体管。该氧化物半导体薄膜晶体管包括栅电极、源电极、漏电极、连接到所述源电极和所述漏电极的氧化物半导体层、以及在层叠方向上位于所述栅电极和所述氧化物半导体层之间的栅极绝缘膜。所述氧化物半导体层包括沟道区域。所述栅极...
薄膜晶体管及其制造方法和包括其的显示装置
本公开涉及一种薄膜晶体管及其制造方法和包括其的显示装置。本公开提供一种薄膜晶体管,其包括栅电极、有源层、源电极和漏电极,其中,有源层包括与源电极交叠的第一沟道部、与漏电极交叠的第二沟道部以及将第一沟道部与第二沟道部连接的连接部,并且连接部是...
抗单粒子烧毁的功率器件及其制备方法、芯片
本申请属于功率器件技术领域,提供了一种抗单粒子烧毁的功率器件及其制备方法、芯片,N型漂移区上形成P型阱区,P型阱区的两侧分别形成有第一栅氧化层和第二栅氧化层,第一栅氧化层内形成有N型多晶硅层,第二栅氧化层内形成有P型多晶硅层,N型重掺杂区和...
一种宽禁带半导体器件
本申请公开了一种宽禁带半导体器件,可用于半导体领域,该器件包括:P型柱区、N型柱区、P型埋层、P型连接层、栅极以及源电极;其中,P型柱区和N型柱区沿第一方向交替排布;P型柱区、P型埋层、P型连接层以及源电极沿第二方向排列,P型连接层与源电极...
具有沟槽栅极结构和屏蔽区域的碳化硅半导体器件
本发明涉及一种半导体器件(500),其具有栅极结构(150),该栅极结构从第一表面(101)延伸到碳化硅本体(100)中,其中栅极结构(150)沿平行于第一表面(101)的第一水平方向(191)的宽度(w1)小于栅极结构(150)的垂直于第...
半导体器件及其制备方法、功率模块、功率转换电路、车辆
本发明公开了一种半导体器件及其制备方法、功率模块、功率转换电路、车辆。半导体器件包括:半导体本体,包括相对设置的第一表面和第二表面,还包括第一区域、阱区和第二区域;栅极绝缘层,位于第一表面;栅极层,位于栅极绝缘层远离第一表面的一侧;第一介质...
半导体器件及其制备方法、功率模块、功率转换电路、车辆
本发明公开了一种半导体器件及其制备方法、功率模块、功率转换电路、车辆。半导体器件包括:半导体本体,包括相对设置的第一表面和第二表面;半导体本体还包括第一区域、阱区和至少一个第二区域;第一区域设置为第一导电类型且位于第一表面,阱区设置为第二导...
一种LDMOS器件及其制作方法
本申请提供了一种LDMOS器件及其制作方法,涉及半导体技术领域。该LDMOS器件可以包括:半导体衬底;位于半导体衬底上且具有第一导电类型的漂移区;位于漂移区一端且具有第二导电类型的体区;位于体区表面并部分延伸至漂移区之上的栅极结构;位于体区...
LDMOS及其形成方法
一种LDMOS及其形成方法,所述形成方法包括:衬底;体区,所述体区位于所述衬底内;栅极结构,部分所述栅极结构位于所述体区正上方;第一掺杂区,所述第一掺杂区位于所述栅极结构一侧的体区内,所述第一掺杂区的掺杂类型与所述体区的掺杂类型不同;外接掺...
碳化硅金氧半导体场效晶体管及其制造方法
本发明提供一种碳化硅金氧半导体场效晶体管及其制造方法,其中,碳化硅金氧半导体场效晶体管的制造方法包括以下步骤:提供碳化硅基板;于碳化硅基板上形成N型碳化硅外延层,其中N型碳化硅外延层包括顶面;于N型碳化硅外延层内且邻接顶面处形成两掺杂结构,...
半导体器件及其制造方法
本发明提供一种半导体器件及其制造方法。半导体器件可以包括:衬底;具有鳍形状并在垂直于衬底的上表面的第一方向上从衬底突出的沟道层;在沟道层的第一侧表面、沟道层的与第一侧表面相反的第二侧表面和沟道层的上表面上的外部栅电极;以及接触沟道层的下表面...
射频功放管及其制备方法
本公开提供了一种射频功放管及其制备方法,属于电力电子领域。该射频功放管包括:衬底、异质结层、第一介质层、栅极、源极和漏极,所述异质结层和所述第一介质层依次层叠于所述衬底上;所述第一介质层的表面具有露出所述异质结层的多个过孔,所述栅极、所述源...
晶体管及其制造方法
本公开提供了一种晶体管及其制造方法,属于半导体技术领域。晶体管包括:衬底、异质结、电极组件和帽层,所述异质结包括依次层叠在所述衬底上的沟道层和势垒层,所述电极组件包括源极、漏极和栅极,所述源极和所述漏极位于所述栅极的两侧,且所述栅极、所述源...
半导体器件及其制造方法
一种半导体器件包括第一导电类型的衬底和形成于该衬底中的第二导电类型的类桶状结构。该第二导电类型与该第一导电类型相反。该类桶状结构含有埋设于所述衬底的初始衬底层中的第二导电类型的底层,该底层的峰值掺杂浓度平面距离所述初始衬底层的顶表面具有预定...
半导体器件及其制造方法
一种制造半导体器件的方法。根据一些实施例,该方法包括形成第一导电类型的衬底,使该衬底中制作有可用作该半导体器件中的类桶状结构之底层的掺杂层。该底层具有与所述第一导电类型相反的第二导电类型,且该底层的峰值掺杂浓度平面距离该衬底的初始衬底层的顶...
半导体装置及其制造方法
本申请公开一种半导体装置和制造半导体装置的方法。该半导体装置包括一支撑基板;以及一通道层,其平行于该支撑基板的一顶部表面,沿一第一方向延伸,并沿该第一方向依序包括一漏极、一通道和一源极。该通道的一顶部表面偏离小于其均方根粗糙度的三倍。
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