苏州法特迪科技股份有限公司吴陈丹青获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州法特迪科技股份有限公司申请的专利一种晶圆探测装置及晶圆探测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234181U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521025010.0，技术领域涉及：H10P74/20；该实用新型一种晶圆探测装置及晶圆探测系统是由吴陈丹青;戴娟;金永斌;王强;贺涛;丁宁;朱伟设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆探测装置及晶圆探测系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆探测装置及晶圆探测系统，其包括：固定机构，其包括保持器及卡爪，保持器水平方向上的一侧设有连接面，连接面垂直于水平面，且其上设有连接区域，卡爪围绕连接区域设置，且可沿保持器厚度方向移动，至少部分卡爪可压合待探测晶圆的边缘；探测机构，其包括探针，探针可靠近远离待探测晶圆。本实用新型能够将待探测的晶圆固定在竖直方向上，便于观测，由此确保了探测的精确程度，同时，竖直设置的晶圆表面也不易积聚碎屑杂质，由此提高了探测质量。相比于现有晶圆探测设备来说，本申请兼具可控性强、兼容性强、探测质量高以及可避免晶圆损伤等优势，在本行业内具有广阔的使用前景。
本实用新型一种晶圆探测装置及晶圆探测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆探测装置，其特征在于：包括： 固定机构，所述固定机构包括保持器以及至少三个卡爪，所述保持器水平方向上的一侧设有连接面，所述连接面垂直于水平面，且其上设有连接区域，至少三个所述卡爪连接于所述保持器，且围绕所述连接区域设置，任意的所述卡爪均可沿所述保持器厚度方向移动，至少部分所述卡爪朝向所述连接区域延伸，以压合待探测晶圆的边缘，待探测晶圆通过所述卡爪固定于所述连接区域中； 探测机构，所述探测机构包括多个探针，多个所述探针可沿水平方向靠近远离待探测晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州法特迪科技股份有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区兴浦路200号5#101、102、201、202；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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