芯恩(青岛)集成电路有限公司李凯获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利用于承载晶圆的托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234165U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520689936.3，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型用于承载晶圆的托盘是由李凯;刘梦婷设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于承载晶圆的托盘在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于承载晶圆的托盘，涉及半导体制造技术领域。包括用于承载晶圆的托盘，其特征在于，包括承载座，具有承载部，用于支撑晶圆；保护盖，扣合在所述承载座上，所述保护盖与所述承载部之间形成用于容纳所述晶圆边缘的容置空间；当采用等离子对晶圆表面清洗时，所述保护盖用于遮挡所述晶圆的边缘。本申请的用于承载晶圆的托盘能够防止保护模在等离子体清洗过程中被破坏，从而避免背面上镀，显著提高了单面化镀晶圆的良率和可靠性，减少了因保护膜脱落导致的背面上镀缺陷。
本实用新型用于承载晶圆的托盘在权利要求书中公布了：1.一种用于承载晶圆的托盘，其特征在于，包括： 承载座，具有承载部，用于支撑晶圆； 保护盖，扣合在所述承载座上，所述保护盖与所述承载部之间形成用于容纳所述晶圆边缘的容置空间； 当采用等离子对晶圆表面清洗时，所述保护盖用于遮挡所述晶圆的边缘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励