上海盈盛通半导体设备有限公司陈章良获国家专利权
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龙图腾网获悉上海盈盛通半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆倒角设备上的清洗机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234134U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521067404.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆倒角设备上的清洗机构是由陈章良;张俊清设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆倒角设备上的清洗机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆倒角设备上的清洗机构，包括清洗槽、晶圆吸附旋转机构、清洗喷嘴机构、毛刷清洗机构以及晶圆提升机构，所述清洗槽设置于晶圆倒角设备上，所述晶圆吸附旋转机构设置于所述清洗槽上，所述晶圆吸附旋转机构包括用于吸附晶圆的真空吸附组件以及用于带动晶圆旋转的驱动模组。本实用新型提出的设计方案，通过毛刷清洗机构与多处布置的清洗喷嘴机构，能够实现倒角后晶圆的边缘和表面的多维度清洗，同时增加设置晶圆提升机构，将晶圆提升后可以对吸盘吸附后区域进行二次清洗，避免了清洗盲区，同时通过甩干和吹气的双重作用，解决了目前设备上清洗完成后清洗液残留的问题。
本实用新型一种晶圆倒角设备上的清洗机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆倒角设备上的清洗机构，其特征在于，包括： 清洗槽，所述清洗槽设置于晶圆倒角设备上； 晶圆吸附旋转机构，所述晶圆吸附旋转机构设置于所述清洗槽上，所述晶圆吸附旋转机构包括用于吸附晶圆的真空吸附组件以及用于带动晶圆旋转的驱动模组； 清洗喷嘴机构，所述清洗喷嘴机构设置于所述清洗槽上，所述清洗喷嘴机构被配置为能分别朝向所述晶圆上下壁面喷水清洗和喷气干燥； 毛刷清洗机构，所述毛刷清洗机构设置于所述清洗槽上，所述毛刷清洗机构包括能与所述晶圆上下壁面以及外边沿贴合的毛刷组件以及可带动毛刷组件往复摆动的摆动气缸； 晶圆提升机构,所述晶圆提升机构设置于所述清洗槽上，所述晶圆提升机构用于将所述晶圆从所述晶圆吸附旋转机构中搬出； 其中，当所述晶圆吸附旋转机构带动所述晶圆旋转时，所述清洗喷嘴机构和所述毛刷清洗机构对所述晶圆进行全方位清洗操作。
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