无锡先为科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡先为科技有限公司申请的专利一种感应线圈装置及CVD反应设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234133U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521056988.3，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种感应线圈装置及CVD反应设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种感应线圈装置及CVD反应设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种感应线圈装置及CVD反应设备，属于半导体制造设备技术领域，本申请实施例中感应线圈装置，包括：支撑组件；支撑组件用于支撑感应线圈；支撑组件包括：基块、第一位移件、第二位移件及支撑件；基块沿第一方向延伸；第一位移件设置于基块上，能够相对于基块沿第一方向位移；第二位移件设置于第一位移件上，能够相对于第一位移件沿第二方向位移，第一方向与第二方向相交，且相交所在面与水平面平行；支撑件设置在第二位移件上，并支撑感应线圈。通过支撑组件的可调节设计，以补偿感应线圈装配过程中产生的定位偏差，既保证了感应线圈的安全性与稳定性，同时，降低了维护成本和时间。
本实用新型一种感应线圈装置及CVD反应设备在权利要求书中公布了：1.一种感应线圈装置，其特征在于，包括支撑组件10，所述支撑组件10用于支撑感应线圈20，所述支撑组件10包括： 基块11，所述基块11沿第一方向X延伸； 第一位移件12，设置于所述基块11上，能够相对于所述基块11沿所述第一方向X位移； 第二位移件13，设置于所述第一位移件12上，能够相对于所述第一位移件12沿第二方向Y位移，所述第一方向X与所述第二方向Y相交，且均与水平面平行； 支撑件14，所述支撑件14设置在所述第二位移件13上，并支撑所述感应线圈20。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡先为科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区新梅路58号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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