江苏应材微机电科技有限公司赵一凡获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏应材微机电科技有限公司申请的专利一种用于半导体设备的真空降温循环水泵获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224228876U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521015194.2,技术领域涉及:F04D13/02;该实用新型一种用于半导体设备的真空降温循环水泵是由赵一凡设计研发完成,并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体设备的真空降温循环水泵在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于半导体设备的真空降温循环水泵,包括循环水泵本体和前置管,循环水泵本体上设置有进水口和出水口,进水口与前置管固定连接,前置管上安装有第一阀门和第二阀门,前置管的内部通过螺钉固定有前置滤网,前置管的侧面安装有与之相连通的反冲洗管,反冲洗管上安装有第三阀门,反冲洗管上安装有插到其内部的超声波振动器,前置滤网位于第一阀门和第二阀门之间,前置滤网的左侧于前置管上安装有排污管。本实用新型对水中杂质过滤方便,降低杂质对泵体内部的磨损,且对滤网清理方便,节省人力。
本实用新型一种用于半导体设备的真空降温循环水泵在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体设备的真空降温循环水泵,其特征在于,包括循环水泵本体1和前置管2,所述循环水泵本体1上设置有进水口101和出水口102,所述进水口101与前置管2固定连接,所述前置管2上安装有第一阀门3和第二阀门4,所述前置管2的内部通过螺钉固定有前置滤网9,所述前置管2的侧面安装有与之相连通的反冲洗管5,所述反冲洗管5上安装有第三阀门6,所述反冲洗管5上安装有插到其内部的超声波振动器7,所述前置滤网9位于第一阀门3和第二阀门4之间,所述前置滤网9的左侧于前置管2上安装有排污管8。
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