昆明物理研究所王善力获国家专利权
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龙图腾网获悉昆明物理研究所申请的专利一种可显示温度分布的束源炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224227287U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520818993.7,技术领域涉及:C30B23/02;该实用新型一种可显示温度分布的束源炉是由王善力;宋立媛;杨春章;姬荣斌;赵俊;杨晋;程增赐;李艳辉;孔金丞;陶先童;李壮壮;段莹瑞设计研发完成,并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可显示温度分布的束源炉在说明书摘要公布了:本实用新型涉及分子束外延薄膜生长设备技术领域,具体涉及可显示温度分布的束源炉,主要包括坩埚、隔热层、坩埚支撑台,以及环绕坩埚设置的加热套筒,坩埚与加热套筒之间设置有光纤光栅温度传感器,光纤光栅温度传感器沿坩埚的轴线方向平行布设,用于监测坩埚的温度数据;光纤光栅温度传感器的纤芯上刻写有光栅,光栅的数量根据坩埚的长度需求设置,用于分段或连续获取坩埚不同高度区域的温度分布情况;光纤光栅温度传感器连接有多通道光谱解调器,用于实时解析光栅的波长变化,生成坩埚的纵向温度分布数据。实现对束源炉温度分布的全面监测,助力提升外延薄膜质量与工艺稳定性。
本实用新型一种可显示温度分布的束源炉在权利要求书中公布了:1.一种可显示温度分布的束源炉,包括坩埚1、隔热层、坩埚支撑台2,以及环绕所述坩埚1设置的加热套筒4,其特征在于:所述坩埚1与加热套筒4之间设置有光纤光栅温度传感器13,所述光纤光栅温度传感器13沿坩埚1的轴线方向平行布设,用于监测坩埚1的温度数据; 所述光纤光栅温度传感器13的纤芯上刻写有光栅1301,光栅1301用于分段或连续获取坩埚1不同高度区域的温度数据; 所述光纤光栅温度传感器13连接有多通道光谱解调器,用于实时解析光栅1301的波长变化,生成坩埚1的纵向温度分布数据。
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