艾威尔电路(深圳)有限公司江培来获国家专利权
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龙图腾网获悉艾威尔电路(深圳)有限公司申请的专利一种旋转多角度蚀刻喷淋装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224227219U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520802652.0，技术领域涉及：C23F1/08；该实用新型一种旋转多角度蚀刻喷淋装置是由江培来;董晓俊;陈钜;张仕桥;楚晓东设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转多角度蚀刻喷淋装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种旋转多角度蚀刻喷淋装置，涉及半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件技术领域。该旋转多角度蚀刻喷淋装置，包括外壳，所述外壳的前侧开设有连接口，连接口的后侧延伸出外壳的后侧，外壳的内部安装有输送组件，外壳的顶壁上固定连接有固定块，固定块为U形块结构，固定块的底壁上开设有五个限位槽，五个限位槽的下侧均延伸出固定块，五个限位槽呈左右排列设置，固定块的内部安装有五个喷淋管道，五个喷淋管道的下端经过五个限位槽延伸至固定块的下侧，固定块上设置有调节机构，通过这种方式，能够根据需要对喷淋角度进行前后和左右方向调节，进而使得装置喷淋的灵活性得到提高，提高了装置的实用性。
本实用新型一种旋转多角度蚀刻喷淋装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转多角度蚀刻喷淋装置，包括外壳1，外壳1的前侧开设有连接口2，连接口2的后侧延伸出外壳1的后侧； 外壳1的内部安装有输送组件3，外壳1的顶壁上固定连接有固定块4，固定块4为U形块结构； 固定块4的底壁上开设有五个限位槽5，五个限位槽5的下侧均延伸出固定块4，五个限位槽5呈左右排列设置； 固定块4的内部安装有五个喷淋管道6，五个喷淋管道6的下端经过五个限位槽5延伸至固定块4的下侧，五个喷淋管道6的下端均固定连接有喷嘴7，其特征在于：所述固定块4上设置有调节机构，通过调节机构能够对五个喷嘴7的喷淋角度进行调节； 调节机构包括五个限位球8、六个第一推块11、第二推块12、第三推块13、滑动槽14、第一卡槽15、第一伸缩电机组件16、第一卡块18、第二卡槽19、第二伸缩电机组件20和第二卡块22。
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