芯联集成电路制造股份有限公司唐丽红获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联集成电路制造股份有限公司申请的专利运动检测装置及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224227212U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520768267.9，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型运动检测装置及化学气相沉积设备是由唐丽红;徐凯原设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本运动检测装置及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种运动检测装置及化学气相沉积设备，运动检测装置包括：转动单元、直线运动单元、第一检测单元和第二检测单元；所述转动单元与所述直线运动单元连接，用于将所述转动单元的转动运动转换为所述直线运动单元的直线运动；所述第一检测单元至少用于检测所述转动单元的转动角度；所述第二检测单元用于检测所述直线运动单元的直线运动距离。通过对运动检测装置的改进，以实现对工艺部件运动距离的检测准确性的有效监测。
本实用新型运动检测装置及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种运动检测装置，其特征在于，包括：转动单元、直线运动单元、第一检测单元和第二检测单元； 所述转动单元与所述直线运动单元连接，用于将所述转动单元的转动运动转换为所述直线运动单元的直线运动； 所述第一检测单元至少用于检测所述转动单元的转动角度； 所述第二检测单元用于检测所述直线运动单元的直线运动距离。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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