福建省金石能源股份有限公司刘义军获国家专利权
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龙图腾网获悉福建省金石能源股份有限公司申请的专利一种设置有电极板绝缘结构的PECVD腔体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224227211U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521008362.5，技术领域涉及：C23C16/509；该实用新型一种设置有电极板绝缘结构的PECVD腔体是由刘义军;郭礼贤;余清设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种设置有电极板绝缘结构的PECVD腔体在说明书摘要公布了：本实用新型涉及镀膜设备领域，公开了一种设置有电极板绝缘结构的PECVD腔体，包括腔体以及设置于腔体上的腔盖。腔盖上设置有电极柱，腔体内设置有电极板，电极柱穿过腔盖与电极板连接。电极板外部设置有用于固定电极板的电极安装板。电极板上端面与电极安装板之间设有若干石英板铺盖，石英板之间衔接处采用交错互叠结构，电极板的两侧均设有“C型截面”的石英条覆盖，石英条两侧设置有用于固定的侧挡板。电极柱外围包裹有石英管。本实用新型通过在电极板外围布置石英材料，避免电极板发生打火，改善产品良率并提高设备可靠性。
本实用新型一种设置有电极板绝缘结构的PECVD腔体在权利要求书中公布了：1.一种设置有电极板绝缘结构的PECVD腔体，包括腔体以及设置于腔体上的腔盖，所述腔盖上设置有电极柱，腔体内设置有电极板，电极柱穿过腔盖与电极板连接；电极板外部设置有用于固定电极板的电极安装板，其特征在于：所述电极板上端面与电极安装板之间设有若干石英板铺盖，石英板之间衔接处采用交错互叠结构，电极板的两侧均设有“C型截面”的石英条覆盖，石英条两侧设置有用于固定的侧挡板；所述电极柱外围包裹有石英管。
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