福建省金石能源股份有限公司朱晓军获国家专利权
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龙图腾网获悉福建省金石能源股份有限公司申请的专利一种设有分流器的镀膜腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224227210U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520833065.8，技术领域涉及：C23C16/505；该实用新型一种设有分流器的镀膜腔是由朱晓军;单洪青;黄文智;吴添明;连轩设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种设有分流器的镀膜腔在说明书摘要公布了：本实用新型涉及镀膜设备领域，公开了一种设有分流器的镀膜腔，分流器固定于腔盖上，位于进气孔下方，分流器包括用于向四周分流的扩散部和用于向下分流的匀流部。扩散部呈“X”型状，分布有四个扩散叶。四个扩散叶上设置有若干个凸起边缘，形成四个扩散通道。四个扩散通道的中心线分别与腔体前后侧的边角和中心处四个位置相对应。凸起边缘与腔盖存在0.8‑1.5mm的缝隙。扩散部中间设置有扩散区，扩散区中心处设置有圆锥状的导流锥，导流锥与扩散区边缘之间设置有若干通气孔。匀流部为四个通气区，通气区上间隔设置有挡板和通气槽，所述通气区设置于两个相邻扩散叶夹角区域上。通过增加分流器来改善镀膜产品的膜层质量以及加快清洗腔体的效率。
本实用新型一种设有分流器的镀膜腔在权利要求书中公布了：1.一种设有分流器的镀膜腔，包括腔体和腔盖，腔体内设置有布气板，布气板上方设置有分流器，分流器固定于腔盖上，位于进气孔下方，其特征在于：所述分流器包括用于向四周分流的扩散部和用于向下分流的匀流部；所述扩散部呈“X”型状，分布有四个扩散叶； 四个扩散叶的除圆周外的边缘，均向上延伸出若干个凸起边缘，形成四个扩散通道； 四个扩散通道的中心线分别与腔体前后侧的边角和中心处四个位置相对应；所述凸起边缘的上表面与腔盖底部存在0.8-1.5mm的缝隙； 所述扩散部中间设置有扩散区，扩散区中心处设置有圆锥状的导流锥，所述导流锥与扩散区边缘之间设置有若干通气孔； 所述匀流部为四个通气区，通气区上间隔设置有挡板和通气槽，所述通气区设置于两个相邻扩散叶夹角区域上。
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