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龙图腾网获悉山东大学;北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利精密装备主动隔振系统的控制方法、系统、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121721970B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610221372.X，技术领域涉及：G05B13/04；该发明授权精密装备主动隔振系统的控制方法、系统、设备及介质是由刘帅;王三霞;张乾;步石;王俊杰设计研发完成，并于2026-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本精密装备主动隔振系统的控制方法、系统、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明实施例提供一种精密装备主动隔振系统的控制方法、系统、设备及介质，属于精密装备振动控制与智能控制交叉领域。通过构建一种新型向量型直接障碍函数，将系统输出的物理硬约束等价地转化为变换空间中变量的有界性要求更为直接且普适。采用分布式模糊逻辑系统网络对反步法设计中出现的未知非线性动态进行并行逼近，并通过仅在线调整权值向量范数的平方，大幅降低计算复杂度。在反步控制律的递归设计中，集成双曲正切函数与投影算子，使得虚拟控制律与实际控制律的幅值具有先验已知的上界，从而满足输入饱和约束，实现了控制器的内在饱和设计。

本发明授权精密装备主动隔振系统的控制方法、系统、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种精密装备主动隔振系统的控制方法，其特征在于，包括： 建立主动隔振系统的严格反馈形式非线性模型； 构造与主动隔振系统中的隔振平台的位移相关的障碍函数，以将所述隔振平台位移的物理输出约束转化为该障碍函数的有界性控制目标； 采用模糊逻辑系统，逼近所述严格反馈形式非线性模型中的未知非线性向量函数； 基于反步法，结合双曲正切函数与投影算子，递归地设计虚拟控制律和实际控制律，确保控制指令始终在主动隔振系统中的作动器的物理饱和限制之内，其中，通过引入双曲正切函数，并利用投影算子对模糊逻辑系统的参数估计值进行有界修正，使得所述虚拟控制律和实际控制律的每个分量幅值具有先验确定的上界，从而满足主动隔振系统输入饱和约束； 设计参数自适应律，用于在线更新所述模糊逻辑系统的参数估计值，并利用投影算子保证更新过程中参数估计值的有界性； 其中，所述障碍函数如下： ； 式中，为主动隔振系统的输出，和分别为输出的下界和上界； 采用模糊逻辑系统来逼近未知非线性向量函数，其逼近形式为： ； 式中，为理想权值向量，为模糊基函数向量，为有界的逼近误差； 虚拟控制律第个分量为： ； 式中，为控制增益，为可调的正设计参数，为误差变量，为通过带投影的自适应律得到的参数范数估计值，为模糊基函数向量，包含了已知的耦合项和参考信号微分项，为双曲正切函数； 实际控制律第个分量为： ； 式中，为控制增益函数，为可调的正设计参数，为第步的误差变量，为通过带投影的自适应律得到的参数范数估计值，为模糊基函数向量，为双曲正切函数。

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