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龙图腾网获悉山东大学;北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种主动隔振系统动态面控制方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121704164B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610209015.1，技术领域涉及：G05B11/42；该发明授权一种主动隔振系统动态面控制方法及设备是由刘帅;王三霞;王俊杰;步石;柳滨设计研发完成，并于2026-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种主动隔振系统动态面控制方法及设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种主动隔振系统动态面控制方法及设备，属于精密装备隔振技术领域，建立系统状态空间模型；采集并预处理负载位置数据；训练LSTM神经网络得到预测模型；实时获取系统状态并预测负载位置；基于预测位置设计带超前补偿的虚拟控制律；通过动态面控制方法递推定义后续控制律；计算节流阀作动力；输出控制力并更新状态以循环执行。通过LSTM神经网络对负载位置进行超前平滑预测，并将预测信息深度融合至动态面控制器设计中，实现了对系统振动的超前补偿，提升了隔振系统的控制精度和动态响应速度，保证了系统的稳定性和鲁棒性。

本发明授权一种主动隔振系统动态面控制方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种主动隔振系统动态面控制方法，其特征在于，方法包括： S101：建立主动隔振系统的状态空间模型，定义系统状态变量和控制输入； S102：采集负载位置的时序数据，并对时序数据进行预处理，得到平滑去噪后的负载位置数据； S103：使用平滑去噪后的负载位置数据训练LSTM神经网络，得到负载位置预测模型；训练过程中，输入为历史负载位置序列，输出为高斯加权的未来负载位置趋势值； S104：在实时控制过程中，获取当前系统状态变量，并使用负载位置预测模型对负载位置进行预测，得到预测负载位置； S105：根据预测负载位置和期望负载位置，定义负载位置跟踪误差，并设计第一虚拟控制律；第一虚拟控制律引入预测负载位置进行超前补偿； 计算当前负载位置与期望负载位置轨迹ydt之间的差值，将差值定义为负载位置跟踪误差，；为当前负载位置，为期望负载位置； 对给定的期望负载位置轨迹ydt进行解析微分或数值微分，得到期望负载速度； 从步骤S104获得预测负载位置，并计算与期望负载位置的差值，得到预测偏差； 构建虚拟控制律，虚拟控制律包含期望负载速度、负载位置跟踪误差的比例反馈项以及基于预测偏差的前馈补偿项，其中， 将得到的结果按照第一虚拟控制律的基本结构进行组合，形成第一虚拟控制律的数学表达式：； 将得到的虚拟控制律通过一个时间常数为的一阶低通滤波器，得到滤波后的输出信号，动力学由描述，初始条件设为 S106：基于第一虚拟控制律，通过动态面控制方法逐步定义后续虚拟控制律和跟踪误差； 后续虚拟控制律包括负载速度跟踪面控制律、气腔压力跟踪面控制律、节流阀阀芯位移跟踪面控制律和节流阀阀芯速度跟踪面控制律； S107：根据所有虚拟控制律和跟踪误差，计算节流阀作动力作为最终控制输入； S108：将节流阀作动力输出至节流阀执行机构，并实时更新系统状态变量和负载位置预测，重复执行控制循环。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东大学;北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：250000 山东省济南市历下区经十路17923号山东大学千佛山校区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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