江苏芯诺半导体科技有限公司赵赛获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯诺半导体科技有限公司申请的专利一种单晶硅片加工夹具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121374883B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511904055.X,技术领域涉及:B28D7/04;该发明授权一种单晶硅片加工夹具是由赵赛;郑森;郭小勇设计研发完成,并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶硅片加工夹具在说明书摘要公布了:本发明公开了一种单晶硅片加工夹具,涉及单晶硅加工技术领域,包括安装环套、驱动齿环、一级夹具组件、导向件、二级夹具组件及驱动单元。安装环套作为承载基体,顶部设驱动齿环,内圈装一级夹具组件,外壁固接导向件,导向件内安装二级夹具组件,驱动单元内置由有安装环套以联动两级夹具。针对不同厚度硅片,薄硅片通过驱动电机一带动驱动齿环,经斜推头推动硅片夹板夹持;厚硅片通过驱动电机二联动驱动环,配合对中抱臂对中后,由硅片抱臂夹持。夹具集成分级夹持与精准导向结构,兼具防护设计,适配性强、夹持精准,能避免硅片损伤,适配自动化加工,提升加工效率与合格率。
本发明授权一种单晶硅片加工夹具在权利要求书中公布了:1.一种单晶硅片加工夹具,其特征在于, 包括安装环套1,安装环套1顶部设有驱动齿环2,环绕驱动齿环2内圈安装有若干组一级夹具组件6,环绕安装环套1外壁固定设有若干组导向件8,每组导向件8内均安装有二级夹具组件7,通过安装环套1内安装的驱动单元带动二级夹具组件7对单晶硅片进行夹持; 驱动单元包括驱动电机二20,驱动电机二20固定设于安装环套1内壁底部中心,且驱动环21固定套接于驱动电机二20输出轴外壁,固定板一41通过固定杆一42安装于安装环套1内壁顶部中心,安装环套1与导向件8连接处开设有避让槽二26; 导向件8上开设有限位槽23,限位杆二22一端与限位槽23内壁固定连接,限位杆二22另一端延伸至安装环套1内并与固定板一41固定连接,导向滑块二24活动设于限位槽23内,且导向滑块二24滑动套接于限位杆二22外壁,第一连杆25一端与导向滑块二24底部转动连接,第一连杆25另一端穿过避让槽二26并延伸至安装环套1内与驱动环21转动连接; 二级夹具组件7包括支撑架27,支撑架27通过固定杆二43与导向滑块二24进行连接,固定杆二43两侧对称设有驱动轴一28以及驱动轴二29,驱动轴一28和驱动轴二29底部与导向滑块二24顶部转动连接,驱动轴一28和驱动轴二29顶部均活动延伸至支撑架27内,且延伸端外壁分别固定套接驱动齿轮三40和驱动齿轮二39; 每组驱动轴一28外壁固定套接相同的对中抱臂33,且对中抱臂33端头活动安装有对中滚轮34,每组驱动轴二29外壁固定套接相同的硅片抱臂30,且硅片抱臂30上开设有两组避让槽三31,硅片抱臂30靠近端头的避让槽三31内设有弹性压条32; 电推杆38固定端与支撑架27外壁固定连接,电推杆38输出端与固定板二36固定连接,固定板二36顶部固定设有U型驱动件35,且U型驱动件35的U型头两端对称固定设有两组驱动齿条37,每组驱动齿条37均活动延伸至支撑架27内并与驱动齿轮二39和驱动齿轮三40相啮合。
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