深圳市国仪兴科技有限公司张杰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市国仪兴科技有限公司申请的专利光刻机的阶梯温度模糊控制方法及控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121276897B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511625112.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机的阶梯温度模糊控制方法及控制装置是由张杰;周超前;余圣辉设计研发完成，并于2025-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机的阶梯温度模糊控制方法及控制装置在说明书摘要公布了：本发明公开了光刻机的阶梯温度模糊控制方法及控制装置，涉及温度控制相关技术领域，方法包括：在光刻机的温度执行单元设置初始阶梯温度模糊控制策略并通过阶梯模糊控制器执行；实时采集干扰信号，提取干扰特征向量；检测当前执行阶梯温度模糊控制策略并对干扰特征向量进行阶梯‑干扰兼容性评估；若阶梯‑干扰兼容性指标小于预设兼容性指标阈值，对当前执行阶梯温度模糊控制策略进行温度模糊控制参数调节，得到更新后的当前执行阶梯温度模糊控制策略。解决了现有技术中存在的光刻机面对复杂多变、特征各异的动态干扰时，温度控制精度及稳定性不足的技术问题，实现动态自调整阶梯模糊控制策略，达到了提升光刻机温度控制精度及稳定性的技术效果。
本发明授权光刻机的阶梯温度模糊控制方法及控制装置在权利要求书中公布了：1.光刻机的阶梯温度模糊控制方法，其特征在于，所述方法包括： 在光刻机的温度执行单元设置初始阶梯温度模糊控制策略，所述初始阶梯温度模糊控制策略通过阶梯模糊控制器执行； 实时采集干扰信号，提取所述干扰信号的干扰特征向量，所述干扰特征向量包括干扰持续时间、干扰幅度、干扰频率以及干扰空间分布； 检测所述温度执行单元的当前执行阶梯温度模糊控制策略，基于当前执行阶梯温度模糊控制策略对所述干扰特征向量进行阶梯-干扰兼容性评估，获取阶梯-干扰兼容性指标； 若阶梯-干扰兼容性指标小于预设兼容性指标阈值，将所述干扰特征向量发送至所述阶梯模糊控制器对当前执行阶梯温度模糊控制策略进行温度模糊控制参数调节，得到更新后的当前执行阶梯温度模糊控制策略。
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