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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种模块化设计的半导体炉管设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121123064B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511189625.1，技术领域涉及：H10P95/90；该发明授权一种模块化设计的半导体炉管设备是由王连富;杨晨;钟华;郑瑜谦设计研发完成，并于2025-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种模块化设计的半导体炉管设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体工艺设备技术领域，公布了一种模块化设计的半导体炉管设备，包括外壳单元和炉体单元，所述外壳单元包括炉底和设置在炉底上的石英管，所述炉底上安装有炉体外壳并位于石英管的外侧，所述炉体外壳上设置有热偶传感器；所述炉体单元包括模块化炉体组件和安装在模块化炉体组件上的密封组件，所述模块化炉体组件的内侧设置有炉丝固定组件；所述模块化炉体组件包括第一炉体和安装在第一炉体一侧的第二炉体；解决了现有技术中炉体在生产过程中不易拆卸、部分结构损坏后需要全部更换，不便于生产过程中的制造、安装、更换；同时炉丝分布不合理，使炉体内部热量不均匀，无法保证温度一致性的问题。

本发明授权一种模块化设计的半导体炉管设备在权利要求书中公布了：1.一种模块化设计的半导体炉管设备，其特征在于：包括外壳单元10和炉体单元20，所述外壳单元10包括炉底11和设置在炉底11上的石英管12，所述炉底11上安装有炉体外壳13并位于石英管12的外侧，且炉体外壳13的上侧安装有炉顶15，所述炉体外壳13上设置有热偶传感器14； 所述炉体单元20包括模块化炉体组件21和安装在模块化炉体组件21上的密封组件22，所述模块化炉体组件21的内侧设置有炉丝固定组件23； 所述模块化炉体组件21包括第一炉体211和安装在第一炉体211一侧的第二炉体212，所述第一炉体211和第二炉体212之间可以安装第三炉体213； 所述第一炉体211包括炉身2111和连接在炉身2111一端的插接榫头2112，且炉身2111的另一端开设有插接榫槽2113； 所述密封组件22包括凹形卡扣221和安装在凹形卡扣221内侧的密封圈222，所述凹形卡扣221上一端连接有第一固定件223，且凹形卡扣221上的另一端连接有第二固定件224； 所述第一固定件223包括固定杆2231和固定连接在固定杆2231一端的固定贴板2232，且固定杆2231的另一端设置有螺纹结构，并连接有第一固定螺母2233； 所述炉丝固定组件23包括绝缘座件231和连接在绝缘座件231上的第二固定螺母232，所述绝缘座件231上安装有加热炉丝233； 所述绝缘座件231包括绝缘卡环2311和开设在绝缘卡环2311上的卡槽2312，且绝缘卡环2311上一侧固定连接有安装杆2313。

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