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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利金属掩膜版的静电释放装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121099507B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511608558.2，技术领域涉及：H05F3/02；该发明授权金属掩膜版的静电释放装置及方法是由韩真真;徐华伟;蔡俊飞;康紫彤;姜慧慧设计研发完成，并于2025-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属掩膜版的静电释放装置及方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种金属掩膜版的静电释放装置，通过静电释放组件直接将产品表面的电荷导出，减少产品表面的静电吸附分量。静电释放装置中的静电释放组件可缓冲地与待释放静电的表面接触，并可实现第一缓冲高度的缓冲，达到了在释放静电电荷的同时动态补偿位置偏差。静电释放组件与待释放静电的表面可缓冲地接触，可以避免接触过程中产生硬性碰撞、机械接触，从而避免产品表面划伤污染，进而提升产品良率。

本发明授权金属掩膜版的静电释放装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种金属掩膜版的静电释放方法，其特征在于， 采用金属掩膜版的静电释放装置实现对金属掩膜版产品的静电释放；所述金属掩膜版的静电释放装置与产品取放装置连接； 所述产品取放装置包括：驱动组件10和连接组件20； 所述静电释放装置200包括： 静电释放组件30，固定设置于所述连接组件20，且所述静电释放组件30可缓冲地与待释放静电的表面接触； 所述静电释放组件30包括： 可伸缩件31，沿Z轴伸长或缩短，所述可伸缩件31从所述连接组件20的通孔中穿过； 固定件32，用于将所述可伸缩件31固定设置于所述连接组件20；以及， 释放件33，当所述释放件33与待释放静电的表面接触时，伸缩轴在固定外壳中沿Z轴伸长或缩短； 所述释放件33包括：第一释放元件34和第二释放元件35； 所述第一释放元件34包括主体铜带341和包覆铜带342，所述主体铜带341与所述连接组件20固定连接；所述包覆铜带342设置于所述主体铜带341的外侧，包裹所述主体铜带341和部分的所述连接组件20； 所述方法，包括： S01，驱动静电释放组件30以第一速度向金属掩膜版产品表面沿Z轴方向下移，实时检测并反馈静电释放组件30的高度值；当静电释放组件30下端距金属掩膜版产品表面为第一距离时，自动切换至第二速度，所述第二速度小于所述第一速度； S02，检测所述静电释放组件30在多个位置处承受的压力值，当检测到任一位置处所述压力值达到第一压力值时，则切换至压力闭环模式；所述压力闭环模式包括：设置目标压力为标准压力值，动态调节所述驱动组件10在Z轴方向的输出力，使多个位置处承受的压力值均匀； S03，当多个位置处承受的压力值均匀之后，则认定静电释放组件30与金属掩膜版产品表面接触稳定，进行电压监测、并调整电压释放策略； S04，持续监测金属掩膜版产品表面电压、累计释放时间和电压衰减斜率，当三个参数中的任一个参数满足约束条件时，则控制所述静电释放组件30沿Z轴以第三速度进行抬升，所述第三速度大于所述第一速度。

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