香港城市大学深圳福田研究院吕坚获国家专利权
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龙图腾网获悉香港城市大学深圳福田研究院申请的专利金属网格柔性透明导电薄膜及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117558488B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311298814.3,技术领域涉及:H01B5/14;该发明授权金属网格柔性透明导电薄膜及其制备方法和应用是由吕坚;肖旭芬;卜钰;刘鹏飞设计研发完成,并于2023-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属网格柔性透明导电薄膜及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种金属网格柔性透明导电薄膜及其制备方法和应用,包括柔性衬底和溅射金属网格,所述金属网格在柔性衬底上形成各种所需的图案。本发明采用磁控溅射法通过控制沉积时间可准确控制金属网格层的厚度,从而制备出质量良好、高透过率、高导电性及抗弯折强的柔性透明导电薄膜,可作为性质优良的柔性透明电极材料,能够满足柔性显示屏或柔性电子的需求,并且该制备工艺简单、安全无毒,可以方便制备大面积金属网格。
本发明授权金属网格柔性透明导电薄膜及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种金属网格柔性透明导电薄膜,其特征在于,所述薄膜包括柔性衬底和溅射金属网格,所述金属网格在柔性衬底上形成各种所需的图案; 所述柔性衬底选自软质PET衬底、CPI衬底或柔性超薄玻璃; 所述金属网格为金属Ag网格; 所述金属网格柔性透明导电薄膜的制备方法包括以下步骤: S1、制备聚合物模板,在所述聚合物模板中心切割出所需的镂空条纹图案; S2、准备柔性衬底,紧贴在基板上,形成柔性衬底基板组合,并将步骤S1中制备的聚合物模板固定在柔性衬底上,形成模板衬底基板组合; S3、将所述模板衬底基板组合放入磁控溅射镀膜装置中,真空条件下通入稀有气体,调节功率,采用磁控溅射法将金属靶材溅射于柔性衬底上沉积,去除模板,得到所述金属网格柔性透明导电薄膜; 所述步骤S3中,将模板面对Ag靶,真空抽至10-5~10-9torr,磁控溅射气体Ar轰击靶材,功率为300~500w,沉积时间为90~600s,Ar的分压控制在60%~70%; 所述金属网格的厚度为150nm~600nm; 所述金属网格的线宽为1μm~30μm; 所述金属网格柔性透明导电薄膜的方阻为4~10Ωsq-1。
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