中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司张颖志获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请的专利一种复合离子泵的新结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117419031B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311264625.4,技术领域涉及:F04B37/14;该发明授权一种复合离子泵的新结构是由张颖志;汪良;王启佳;袁方;叶琳琳设计研发完成,并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合离子泵的新结构在说明书摘要公布了:本发明属于极高真空领域,具体地说是一种复合离子泵的新结构,包括离子泵、法兰接管焊件、转接筒、连接端子、引线、绝缘陶瓷管、连接柱及NEG泵芯,法兰接管焊件包含法兰、接管和两芯NEG电极插头;离子泵采用SKY20L泵,将泵口更换为法兰接管焊件;NEG泵芯采用SaesD400泵芯;法兰接管焊件中的两芯插头通过连接端子与引线压接在一起;绝缘陶瓷管穿过两个引线,起到绝缘作用;连接柱连接引线和NEG泵芯两插头,通过沉头螺钉固定;NEG电极插头复合在离子泵口上,集成NEG激活和离子泵抽气功能。本发明解决了小抽速离子泵空间紧凑,不便增加抽口的难题。本发明结构简单,安装便利,为复合离子泵结构的优化提供了一种新结构。
本发明授权一种复合离子泵的新结构在权利要求书中公布了:1.一种复合离子泵的新结构,其特征在于:包括NEG泵、转接筒9、法兰接管焊件及离子泵13,其中法兰接管焊件的一端与所述离子泵13的泵口连接,所述法兰接管焊件的另一端通过转接筒9与NEG泵的泵芯7相连;所述法兰接管焊件包括法兰10、接管11及NEG电极插头12,所述接管11的一端连接于离子泵13的泵口处,所述法兰10与接管11的另一端相连,所述接管11上连接有NEG电极插头12,所述转接筒9的一端与泵芯7相连,所述转接筒9的另一端安装于法兰10上,所述转接筒9上开设有用于进气的开口15;所述转接筒9、法兰10及接管11依次连通,所述NEG电极插头12通过连接端子6与引线A5的一端相连,所述引线A5的另一端由绝缘陶瓷管4穿过后连接至连接柱2的一端,所述连接柱2的另一端与泵芯7上的引线B连接,所述连接柱2、绝缘陶瓷管4、引线A5及连接端子6均位于转接筒9、法兰10、接管11相连通的内部; 所述转接筒9的一端为圆环状,所述泵芯7插入圆环内,并通过侧面顶丝8与转接筒9固定; 所述圆环外侧面的底部为倒角14; 所述转接筒9轴向截面的左右两侧沿长度方向对称开设有开口15; 所述NEG电极插头12为两芯NEG电极插头,所述两芯NEG电极插头通过连接端子6与两根引线A5压接在一起,所述绝缘陶瓷管4穿过两根引线A5,起到绝缘所述两根引线A5的作用。
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