江苏鲁汶仪器股份有限公司刘好好获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种下电极组件及离子束刻蚀机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117276037B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210663404.3，技术领域涉及：H01J37/04；该发明授权一种下电极组件及离子束刻蚀机是由刘好好;闫奎呈;陈龙保;石小丽;张亦涛;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2022-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种下电极组件及离子束刻蚀机在说明书摘要公布了：本发明公开一种下电极组件及离子束刻蚀机，该下电极组件包括多个压环1、电极板2和固定圈5；所述多个压环1沿周向间隔设置在所述电极板2的上方，每个所述压环1通过相应设置的可旋转推杆3设置在固定圈5上，且所述压环1的端部形成与待处理晶圆适配的压抵部；所述压环1可由所述可旋转推杆3带动转动，以调整其压抵部相对于下电极回转中心的径向距离。应用本方案，可防止机械手在传输的过程中撞击压环的现象；利用每个压环顶点处压边，降低了与晶圆的接触面积，可有效提高晶圆刻蚀的良率；同时可适应不同尺寸晶圆的压紧适配，具有较好的可适应性，在降低了成本的基础上可有效减少操作时间。
本发明授权一种下电极组件及离子束刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种下电极组件，用于离子束刻蚀机，其特征在于，包括多个压环1、电极板2和固定圈5； 所述多个压环1沿周向间隔设置在所述电极板2的上方，每个所述压环1通过相应设置的可旋转推杆3设置在固定圈5上，且所述压环1的端部形成与待处理晶圆适配的压抵部；所述压环1可由所述可旋转推杆3带动转动，以调整其压抵部相对于下电极回转中心的径向距离； 还包括多个周向间隔设置的顶针机构4，所述顶针机构4包括第一顶针401和第二顶针402，且所述第二顶针402相对于所述第一顶针401接近载片台回转中心设置；所述第二顶针402和所述第一顶针401均通过所述电极板2的过孔伸出，并可在所述固定圈5带动下上下位移。
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