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龙图腾网获悉北京工业大学申请的专利利用周期方槽结构的平板波导产生可选频EUV光源的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117222089B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311028300.6，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权利用周期方槽结构的平板波导产生可选频EUV光源的方法是由宋海英;张威;安文源;刘世炳设计研发完成，并于2023-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本利用周期方槽结构的平板波导产生可选频EUV光源的方法在说明书摘要公布了：利用周期方槽结构的平板波导产生可选频EUV光源的方法属于激光物理领域，利用飞秒激光与气体介质相互作用产生极紫外EUV和软X射线光辐射。本发明包括带有周期性方槽结构的平板波导，调节带有周期性方槽结构的平板波导所需的支架或装置，用于精确控制位置移动的平台或导轨系统，用于稳定和固定设备或组件的基座或支撑结构，对带有周期性方槽结构的平板波导充填气体并使用惰性气体推进实验的气体供应系统。通过使用带有周期性方槽结构的平板波导作为气体载具，能有效提高极紫外和软X射线光辐射的转换效率；通过调节方槽结构的周期，能使具有最高转化效率的谐波阶次发生变化，从而调控高次谐波发射的波长分布，实现极紫外光源的选频输出。

本发明授权利用周期方槽结构的平板波导产生可选频EUV光源的方法在权利要求书中公布了：1.利用周期方槽结构的平板波导产生可选频EUV光源的方法，其特征在于：采用具有周期性方槽结构的平板波导作为充气气体的气载装置；该装置包括堆叠在下面的玻璃块1-1和堆叠在上面的玻璃块1-10，薄玻璃片一1-4、薄玻璃片二1-5、薄玻璃片三1-6和薄玻璃片四1-7,薄玻璃片一、薄玻璃片二、薄玻璃片三和薄玻璃片四厚度为0.2-1mm，具体制作步骤如下： 步骤1：制作具有周期性方槽结构及作为气体入口的凹槽结构的玻璃块：在堆叠在下面的玻璃块1-1上表面制作周期性方槽结构一1-2和堆叠在上面的玻璃块1-10下表面制作周期性方槽结构二1-3，在堆叠在下面的玻璃块1-1边缘制作形成气体入口的凹槽结构一1-8、形成气体入口的凹槽结构二1-9，在堆叠在上面的玻璃块1-10，边缘制作形成气体入口的凹槽结构三1-13、形成气体入口的凹槽结构四1-14； 步骤2：制作薄玻璃片：根据步骤1加工的堆叠在下面的玻璃块1-1、堆叠在上面的玻璃块1-10的尺寸和玻璃块表面制作的结构，加工薄玻璃片一1-4、薄玻璃片二1-5、薄玻璃片三1-6、薄玻璃片四1-7，将加工完成的薄玻璃片分别沿堆叠在下面的玻璃块1-1的四个直角两边的边缘对齐，最终在堆叠在下面的玻璃块1-1的上表面未被薄玻璃片占据的区域形成一个“十”字，通过调整薄玻璃片二1-5、薄玻璃片四1-7之间的间距，薄玻璃片一1-4、薄玻璃片三1-6之间的间距，可以调整波导内部的尺寸；调整薄玻璃片四1-7、薄玻璃片一1-4之间的间距，薄玻璃片二1-5、薄玻璃片三1-6之间的间距，可以调整气体入口的大小； 步骤3：组装带有周期性方槽结构的平板波导；将堆叠在下面的玻璃块1-1上表面和堆叠在上面的玻璃块1-10下表面按照制作的周期性方槽结构一1-2、周期性方槽结构二1-3以及用作形成气体入口的凹槽结构一1-8、形成气体入口的凹槽结构二1-9、形成气体入口的凹槽结构三1-13、形成气体入口的凹槽结构四1-14按照堆叠在下面的玻璃块1-1、四片薄玻璃片、堆叠在上面的玻璃块1-10的顺序自下到上实现对齐放置，从而将薄玻璃片一1-4、薄玻璃片二1-5、薄玻璃片三1-6、薄玻璃片四1-7夹在中间，利用真空胶组装。

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