买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州迈为科技股份有限公司申请的专利磁控溅射装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116837337B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310872187.3，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权磁控溅射装置是由张永胜;高通;解传佳;周振国;武瑞军设计研发完成，并于2023-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本发明涉及溅射镀膜工艺技术领域，尤其涉及一种磁控溅射装置。包括支撑座和磁铁组件。支撑座上设置有调节组件。磁铁组件包括磁轭、第一类磁铁块、第二类磁铁块和第三类磁铁块，调节组件与磁轭连接，调节组件被配置为调节磁铁组件与靶材之间的距离。第一类磁铁块、第二类磁铁块和第三类磁铁块均设置在磁轭上，沿第一方向，第一类磁铁块位于磁轭的两端位置处，第三类磁铁块位于磁轭的中部位置处，第二类磁铁块位于第一类磁铁块和第三类磁铁块之间；通过对第一类磁铁块、第二类磁铁块和第三类磁铁块充磁方向进行相应调整，进而改善磁铁组件的磁场分布。该磁控溅射装置能够提高靶材的利用率，节约成本。

本发明授权磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.磁控溅射装置，其特征在于，包括： 支撑座100，所述支撑座100上设置有调节组件110； 磁铁组件200，所述磁铁组件200包括磁轭240、第一类磁铁块210、第二类磁铁块220和第三类磁铁块230，所述调节组件110与所述磁轭240连接，所述调节组件110被配置为调节所述磁铁组件200与靶材300之间的距离； 所述第一类磁铁块210、所述第二类磁铁块220和所述第三类磁铁块230均设置在所述磁轭240上，沿第一方向，所述第一类磁铁块210位于所述磁轭240的两端位置处，所述第三类磁铁块230位于所述磁轭240的中部位置处，所述第二类磁铁块220位于所述第一类磁铁块210和所述第三类磁铁块230之间； 所述第一类磁铁块210的充磁方向朝向所述磁轭240的中部位置斜向下倾斜，所述第三类磁铁块230的充磁方向竖直向上；或者， 所述第一类磁铁块210的充磁方向朝向远离所述磁轭240的中部位置斜向上倾斜，所述第三类磁铁块230的充磁方向竖直向下； 当所述第一类磁铁块210的充磁方向朝向所述磁轭240的中部位置斜向下倾斜时，所述第二类磁铁块220的充磁方向朝向所述磁轭240的中部位置斜向上倾斜； 当所述第一类磁铁块210的充磁方向朝向远离所述磁轭240的中部位置斜向上倾斜时，所述第二类磁铁块220的充磁方向朝向远离所述磁轭240的中部位置斜向下倾斜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州迈为科技股份有限公司，其通讯地址为：215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。