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龙图腾网获悉昆明物理研究所申请的专利一种杜瓦内部气氛测试分析装置及其测试分析方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116773639B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310603153.4，技术领域涉及：G01N27/62；该发明授权一种杜瓦内部气氛测试分析装置及其测试分析方法是由张亚平;李杰;王艳;陈正超;高玲;何晶;杨曼云设计研发完成，并于2023-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种杜瓦内部气氛测试分析装置及其测试分析方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种杜瓦内部气氛测试分析装置及测试分析方法，包括第一阀门、第一分子泵、第一隔断阀、第一干泵、四极质谱仪、第二阀门、高真空规、加热罩、待测待测杜瓦组件、加热罩支架、复合真空规、第三阀门、第二分子泵、第二隔断阀、第二干泵；四极质谱仪与高真空规构成测试分析系统；加热罩、待测杜瓦组件及复合真空规构成气体累积加热系统；第一干泵、第一隔断阀、第一分子泵及第一阀门构成主抽气系统；第二干泵、第二隔断阀、第二分子泵及第三阀门构成辅助抽气系统；测试分析系统与气体累积加热系统通过第二阀门连接。本发明采用静态累积法提升灵敏度，采用独立抽气避免了设备污染气体累积加热系统。

本发明授权一种杜瓦内部气氛测试分析装置及其测试分析方法在权利要求书中公布了：1.一种杜瓦内部气氛测试分析方法，利用杜瓦内部气氛测试分析装置，该装置包括第一阀门1、第一分子泵2、第一隔断阀3、第一干泵4、四极质谱仪5、第二阀门6、高真空规7、加热罩8、待测杜瓦组件9、加热罩支架10、复合真空规11、第三阀门12、第二分子泵13、第二隔断阀14、第二干泵15； 所述四极质谱仪5与高真空规7通过管路连接构成测试分析系统； 所述加热罩8、待测杜瓦组件9、加热罩支架10及复合真空规11构成气体累积加热系统，所述加热罩8罩在待测杜瓦组件9上，所述加热罩支架10用于支撑加热罩8，所述待测杜瓦组件9与复合真空规11通过管路连接； 所述第一干泵4、第一隔断阀3、第一分子泵2及第一阀门1依次相连构成主抽气系统，并通过第一阀门1转接至测试分析系统； 所述第二干泵15、第二隔断阀14、第二分子泵13及第三阀门12依次相连构成辅助抽气系统，并通过第三阀门12转接至气体累积加热系统； 所述测试分析系统与气体累积加热系统通过第二阀门6连接； 其特征在于，包括以下步骤： S1：使得第二阀门6处于关闭状态； S2：依次打开第一干泵4、第一隔断阀3、第一分子泵2、第一阀门1，对测试分析系统加热烘烤，连续抽真空直至高真空规7的真空度优于1×10-9mabr； S3：依次打开第二干泵15、第二隔断阀14、第二分子泵13、第三阀门12，对气体累积加热系统加热烘烤，连续抽真空直至复合真空规11的真空度优于1×10-9mabr； S4：通过加热罩8对待测杜瓦组件9连续烘烤排气，温度控制在60-100℃； S5：第三阀门12关闭进行气体累积，累积时间可调，并通过复合真空规11监控累积的气体量； S6：气体累积结束后，关闭第一阀门1，打开四极质谱仪5进行设备本底气氛测试，扫描时间在30秒-300秒； S7：打开第二阀门6，扫描质谱变化情况，扫描时间在30秒-300秒； S8：接入标准气体，重复上述过程； S9：测试结束，打开第三阀门12、打开第一隔断阀3持续抽真空，获得更低的设备本底。

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