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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种基于图像处理的微结构加工误差计算方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116659382B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310640930.2，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种基于图像处理的微结构加工误差计算方法是由罗倩;高国涵;杜俊峰设计研发完成，并于2023-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于图像处理的微结构加工误差计算方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于图像处理的微结构加工误差计算方法，微纳加工误差包括深度误差、线宽误差和套刻误差。采用白光干涉仪对所有辅助检测标记点位附近的图形区台阶轮廓进行检测，获得相应位置的三维轮廓数据；利用图像处理方法得到三维轮廓数据沿台阶切面方向截线，计算出深度误差和线宽误差，然后三维轮廓数据俯视方向做投影，可得到台阶边缘线段图，计算出套刻误差。本发明是为了提高现有加工误差精度要求，提供了基于图像处理的微结构加工误差计算的方法。

本发明授权一种基于图像处理的微结构加工误差计算方法在权利要求书中公布了：1.一种基于图像处理的微结构加工误差计算方法，所述微结构加工误差包括深度误差、线宽误差和套刻误差，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一：在被测的微结构上做辅助检测标记点位； 步骤二：采用白光干涉仪对所有标记点位附近的图形区台阶轮廓进行检测，获得相应位置的三维轮廓数据； 步骤三：将步骤二的三维轮廓数据沿台阶切面方向截得多根截线，该多根截线上的台阶的深度值和线宽值求取平均值，得到每个点位的实测的深度值和线宽值； 步骤四：每个点位上实测的深度值和线宽值与设计值相比计算出每个点位上的深度误差和线宽误差，并计算出所有点位的深度误差和线宽误差的平均值得到该微结构的深度误差和线宽误差； 步骤五：将步骤二的三维轮廓数据俯视方向做投影，得到台阶边缘线段图，拟合该线段图，沿边缘线段的垂直方向取多条截线，得到每一条截线在每一个周期内的截距，多条截线的平均截距得到该点位每个周期内台阶的线宽值，台阶数为2n，干涉仪的测量范围为多个周期； 步骤六：求出每一个周期内当前台阶和前层台阶之间的线宽值之差，将以上差值平均得到该周期内的套刻误差，将多个周期的套刻误差取平均可得到该点位的套刻误差，根据所有点位的套刻误差取平均得到该微结构的套刻误差。

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