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龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116358764B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310117132.1，技术领域涉及：G01L5/165；该发明授权一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器是由董林玺;胡梦宜;黄一马;刘超然;杨伟煌;颜海霞设计研发完成，并于2023-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器，包括玻璃衬底及其上表面的固定电极、悬于玻璃衬底上方的器件层。玻璃衬底上表面的固定电极包括固定叉指铝电极、固定金属电极、电极连接线和自检测引出电极。悬于玻璃衬底上方的器件层包括器件锚点、四根L型压电驱动梁、静电吸合模块、敏感驱动台和电容式三轴力传感器。固定金属电极与电容式三轴力传感器中心质量块对应放置，静电吸合模块位于压电驱动梁和敏感驱动台之间。本发明抑制交叉轴串扰的问题，实现交叉轴以及法向三轴驱动，实现交叉轴驱动电容的实时检测，并通过调整静电吸合模块实现力检测模式和校准模式的切换。

本发明授权一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器在权利要求书中公布了：1.一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器，其特征在于，包括玻璃衬底及其上表面的固定电极、悬于玻璃衬底上方的器件层； 所述的玻璃衬底上表面的固定电极包括固定叉指铝电极、固定金属电极、电极连接线和自检测引出电极； 所述的悬于玻璃衬底上方的器件层包括器件锚点、四根L型压电驱动梁、静电吸合模块、敏感驱动台和电容式三轴力传感器； 所述的固定叉指铝电极与敏感驱动台上的栅型硅电极对应放置，通过变面积的方法差分检测切向驱动电容，电容信号沿着电极连接线，通过自检测引出电极引出； 所述的固定金属电极与电容式三轴力传感器的中心质量块对应放置，通过变间距式检测法向力检测电容，电容信号沿着电极连接线，通过自检测引出电极引出； 所述的静电吸合模块位于压电驱动梁和敏感驱动台之间，一共两组，每组包括静电吸合锚点、静电吸合固定梳齿、静电吸合可动梳齿、固定吸合孤岛和可动吸合块；静电吸合固定梳齿固定在静电吸合锚点上，静电吸合可动梳齿与敏感驱动台相连，位于敏感驱动台的对角线位置，跟随敏感驱动台一起运动，并与静电吸合固定梳齿一一对应；可动吸合块与敏感驱动台相连，并与吸合固定孤岛对应放置； 所述的敏感驱动台包括横向敏感单元和纵向敏感单元； 所述的电容式三轴力传感器包括限位块、U型梁、斜置梁、中心质量块、切向力检测模块，中心质量块通过U型梁、斜置梁与敏感驱动台连接； 所述的电容式三轴力传感器切向力检测模块包括切向力检测锚点、切向力检测可动梳齿和切向力检测固定梳齿；切向力检测固定梳齿固定在切向力检测固定锚点上，共八组切向力检测模块，对称分布在中心质量块周围，每边两组。

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