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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116344435B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310121477.4，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置是由郑宇现设计研发完成，并于2023-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置在说明书摘要公布了：为解决现有技术中存在的晶圆由于静电残留导致的晶圆向上顶起时容易被弹走或损坏的技术问题，本发明实施例提供一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置，包括：控制装置、动力装置和至少一个顶起装置；每个顶起装置包括:提升杆，一端用于与静电吸盘上的晶圆接触以将所述晶圆从静电吸盘上顶起；永磁铁，一端用于与提升杆的另一端连接；电磁铁，电磁铁的一端用于与永磁铁的另一端磁性连接；以及距离感应器，设于电磁铁的一端，用于感应永磁铁的另一端与电磁铁的一端之间的距离大小；动力装置，用于与电磁铁的另一端连接，以带动电磁铁的一端作靠近永磁铁的另一端或远离永磁铁的另一端的运动；控制装置，用于与距离感应器、动力装置和电磁铁连接。

本发明授权一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置在权利要求书中公布了：1.一种将晶圆从晶圆加工室内顶起的装置，其特征在于，包括：控制装置、动力装置和至少一个顶起装置；每个顶起装置包括: 提升杆，一端用于与静电吸盘上的晶圆接触以将所述晶圆从静电吸盘上顶起； 永磁铁，一端用于与提升杆的另一端连接； 电磁铁，电磁铁的一端用于与永磁铁的另一端磁性连接；以及 距离感应器，设于电磁铁的一端，用于感应永磁铁的另一端与电磁铁的一端之间的距离大小； 动力装置，用于与电磁铁的另一端连接，以带动电磁铁的一端作靠近永磁铁的另一端或远离永磁铁的另一端的运动；当电磁铁的一端向靠近永磁铁的另一端运动时，电磁铁的一端与永磁铁的另一端的极性相同； 控制装置，用于与距离感应器、动力装置和电磁铁连接； 控制装置还用于：根据距离感应器的距离反馈信号，生成距离反馈值； 判断距离反馈值是否小于或等于安全距离值，若是，则控制动力装置停止顶起动作；或者通过动力装置带动电磁铁的一端向远离永磁铁的另一端运动； 安全距离值为晶圆无静电且晶圆被顶起时永磁铁的另一端与电磁铁的一端之间的距离值。

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