聊城大学牛慧娟获国家专利权
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龙图腾网获悉聊城大学申请的专利单片集成的谐振腔增强型波导光探测器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116314380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211449764.X，技术领域涉及：H10F77/40；该发明授权单片集成的谐振腔增强型波导光探测器是由牛慧娟;范鑫烨;白成林;蒋传星;张鲁健设计研发完成，并于2022-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本单片集成的谐振腔增强型波导光探测器在说明书摘要公布了：本发明涉及光电技术领域，提供一种单片集成的谐振腔增强型波导光探测器，包括：半绝缘衬底、波导光探测器外延层、N金属电极及P金属电极；波导光探测器外延层包括波导层与光探测器外延层，半绝缘衬底、波导层、光探测器外延层及P金属电极沿Z轴方向依次排布，N金属电极与波导层连接；波导光探测器外延层沿X轴方向具有相背离的第一端与第二端，光探测器外延层设有第一凹槽，波导光探测器外延层设有第二凹槽，第一凹槽靠近第一端设置，第二凹槽靠近第二端设置，第一凹槽与第二凹槽均沿Y轴方向排布；本发明通过设置第一凹槽与第二凹槽，从而形成由分布式布拉格反射镜组成的谐振腔，能够同时满足良好的响应度与较快的响应速度。
本发明授权单片集成的谐振腔增强型波导光探测器在权利要求书中公布了：1.一种单片集成的谐振腔增强型波导光探测器，其特征在于，包括：半绝缘衬底、波导光探测器外延层、N金属电极及P金属电极； 所述波导光探测器外延层包括波导层与光探测器外延层，所述半绝缘衬底、所述波导层、所述光探测器外延层及所述P金属电极沿Z轴方向依次排布，所述N金属电极与所述波导层连接； 所述波导光探测器外延层沿X轴方向具有相背离的第一端与第二端，所述光探测器外延层设有第一凹槽，所述波导光探测器外延层设有第二凹槽，所述第一凹槽靠近所述第一端设置，所述第二凹槽靠近所述第二端设置，所述第一凹槽与所述第二凹槽均沿Y轴方向排布； 所述第二凹槽设有多个，多个所述第二凹槽沿所述X轴方向间隔设置； 所述第一凹槽的深度小于所述第二凹槽的深度；所述第一凹槽与所述第二凹槽内填充介质，以与半导体材料交替形成分布式布拉格反射镜，所述第一凹槽与所述第二凹槽之间形成谐振腔。
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