南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司潘拴获国家专利权
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龙图腾网获悉南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司申请的专利一种检测p型Ⅲ族氮化物激活效果的表征方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116298400B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310220433.7，技术领域涉及：G01Q60/30；该发明授权一种检测p型Ⅲ族氮化物激活效果的表征方法是由潘拴;廖含川;张建立;王小兰;高江东;李丹;杨小霞设计研发完成，并于2023-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测p型Ⅲ族氮化物激活效果的表征方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种检测p型Ⅲ族氮化物激活效果的表征方法，本发明基于开尔文探针力显微镜，通过在p型Ⅲ族氮化物的表面制备金属电极层形成欧姆接触，并将金属电极层与开尔文探针力显微镜的样品台形成导电连接，从而减弱除p型Ⅲ族氮化物外的其他外延层对测试结果的影响，根据p型Ⅲ族氮化物与金属电极层表面电势的差值或结合霍尔测试系统测试对表面电势进行换算，实现了p型Ⅲ族氮化物激活效果的较为准确的测量。本发明方法简单且快捷有效，能够精准的测定p型Ⅲ族氮化物表面电势激活前后的改变，对于研究p型Ⅲ族氮化物激活方法将发挥重要作用。
本发明授权一种检测p型Ⅲ族氮化物激活效果的表征方法在权利要求书中公布了：1.一种检测p型Ⅲ族氮化物激活效果的表征方法，其特征在于：包括如下步骤： S1、在表面为p型Ⅲ族氮化物的待测外延片的表面制备金属电极层得到待测样品；所述金属电极层与p型Ⅲ族氮化物形成欧姆接触； S2、对待测样品表面的金属电极层与开尔文探针力显微镜的样品台做导电连接处理； S3、采用开尔文探针力显微镜对待测样品表面的p型Ⅲ族氮化物与金属电极层同时进行表面电势测试，根据p型Ⅲ族氮化物与金属电极层的表面电势差值判断激活效果，完成表征。
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