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龙图腾网获悉宁波合盛新材料有限公司申请的专利一种碳化硅单晶的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288716B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211396071.9，技术领域涉及：C30B29/36；该发明授权一种碳化硅单晶的制备方法是由赵新田;罗烨栋;浩瀚;杨弥珺;章宣;陈晶莹设计研发完成，并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅单晶的制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种碳化硅单晶的制备方法，属于半导体材料制备技术领域。本发明将长晶用碳化硅原料置于装料石墨坩埚中，然后装配第一石墨支撑环，将含涂层籽晶置于所述第一石墨支撑环上，且使所述含涂层籽晶的硅面朝上；然后在所述第一石墨支撑环上装配第二石墨支撑环，将所述多孔石墨板置于所述第二支撑环上，且使多孔石墨板与所述含涂层籽晶之间预留有空间；在所述多孔石墨板的表面铺设碳化硅粉料层，之后盖上石墨盖，加热进行长晶处理，得到碳化硅单晶。本发明在籽晶背部设置碳化涂层，能够有效的防止籽晶背部硅蒸汽的挥发，进而防止籽晶背部腐蚀；同时通过籽晶支撑结构的优化设计，能够进一步防止籽晶背部腐蚀，保证最终得到高品质碳化硅单晶。

本发明授权一种碳化硅单晶的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅单晶的制备方法，包括以下步骤： 提供含涂层籽晶，所述含涂层籽晶包括籽晶以及设置在所述籽晶的硅面表面的碳化涂层；所述含涂层籽晶的制备方法包括以下步骤：将酚醛树脂与丙二醇甲醚醋酸酯混合，得到酚醛树脂溶液；将石墨乳、乙醇以及酚醛树脂混合，得到石墨乳稀释液；在籽晶的硅面表面涂覆所述酚醛树脂溶液，干燥后在所述硅面表面形成第一酚醛树脂粘结层；在所述第一酚醛树脂粘结层的表面涂覆所述石墨乳稀释液，干燥后在所述第一酚醛树脂粘结层的表面形成石墨乳涂层；在所述石墨乳涂层的表面涂覆所述酚醛树脂溶液，干燥后在所述石墨乳涂层的表面形成第二酚醛树脂粘结层；在所述第二酚醛树脂粘结层的表面涂覆石墨粉，在所述第二酚醛树脂粘结层的表面形成石墨粉涂层，之后经烧结固化，得到所述含涂层籽晶； 提供晶体生长坩埚，所述晶体生长坩埚自下而上依次包括装料石墨坩埚、第一石墨支撑环、第二石墨支撑环、多孔石墨板以及石墨盖； 将长晶用碳化硅原料置于所述装料石墨坩埚中，在盛放有所述长晶用碳化硅原料的装料石墨坩埚上装配所述第一石墨支撑环，将所述含涂层籽晶置于所述第一石墨支撑环上，且使所述含涂层籽晶的硅面朝上；然后在所述第一石墨支撑环上装配所述第二石墨支撑环，将所述多孔石墨板置于所述第二石墨支撑环上，且使所述多孔石墨板与所述含涂层籽晶之间预留有空间；在所述多孔石墨板的表面铺设碳化硅粉料层，之后盖上所述石墨盖，加热进行长晶处理，得到碳化硅单晶。

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