北京科益虹源光电技术有限公司刘斌获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科益虹源光电技术有限公司申请的专利准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116265894B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111545814.X,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法及装置是由刘斌;陈文斌;徐向宇;刘广义;江锐;郭馨;朱星宏设计研发完成,并于2021-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法及装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法,通过获取待分析窗片元件的损伤信息对应的特征信息确定待分析窗片元件的损伤类别,并确定出待分析窗片元件的实际损伤形式,待分析窗片元件的损伤类别是先前使用相同或类似操作手段得到的,所以在非损伤区复现与形成损伤类别对应的损伤,将该复现的损伤与损伤信息进行比对,损伤的信息与待分析窗片元件的损伤信息一致,则确定待分析窗片元件的损伤原因为使用与形成损伤类别的相同或类似操作手段的原因。本申请通过确定待分析窗片元件的损伤类别,并结合形成损伤类别的相同或类似操作手段来复现损伤,从而可以准确地确定出造成该损伤类别的原因,并提升准分子激光器运行的稳定性。
本发明授权准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种准分子激光器窗片元件损伤原因分析方法,其特征在于,包括: 获取待分析窗片元件的损伤信息,根据所述损伤信息获得所述待分析窗片元件的损伤的特征信息; 根据所述特征信息确定所述待分析窗片元件的损伤类别; 根据预先设定的与形成损伤类别的相同或类似操作手段在所述待分析窗片元件的非损伤区复现损伤; 采集复现的损伤的信息,并与所述待分析窗片元件的损伤信息进行比对,以确定待分析窗片元件的损伤原因。
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