中国科学院光电技术研究所罗先刚获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利晶圆定位、定向方法及其晶圆边缘检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115995416B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310144629.2，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权晶圆定位、定向方法及其晶圆边缘检测装置是由罗先刚;陈劲松;兰俊;兰洲;薛成;刘正浩;杨勇;王长涛设计研发完成，并于2023-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆定位、定向方法及其晶圆边缘检测装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种晶圆定位、定向方法及其晶圆边缘检测装置，定位、定向方法包括：S1，转台带动晶圆转动并对转动角度进行测量，同时距离检测装置同步测量晶圆边缘距离自身的距离；S2，根据距离差值最大值和距离差值最小值对应的晶圆边缘位置，初步确定晶圆缺口位置；S3，根据去除晶圆缺口位置的数据，计算晶圆圆心在转台坐标系下的坐标；根据缺口位置的数据，计算缺口圆心在转台坐标系下的坐标；S4，根据晶圆圆心坐标与缺口圆心坐标，计算缺口在晶圆坐标系下的初始位置。该定位方法直接对晶圆的角度和距离数据进行拟合，避免将以上数据转化为相对于转轴坐标系的直角坐标，在不损失定位精度前提下，提高晶圆定位、定向的效率。
本发明授权晶圆定位、定向方法及其晶圆边缘检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位、定向方法，其特征在于，包括： S1，转台2带动晶圆3转动并对转动角度θi进行测量，同时距离检测装置4同步测量晶圆3边缘距离所述距离检测装置4的距离di； S2，根据距离差值最大值dp-dp-1和距离差值最小值dq-dq-1对应的所述晶圆边缘位置，初步确定所述晶圆缺口位置； S3，根据去除所述晶圆缺口位置的θi，di数据，计算所述晶圆圆心在所述转台2坐标系下的坐标a1，b1；根据所述缺口位置的θi，di数据，计算所述缺口圆心在所述转台2坐标系下的坐标a2，b2，其中θi为转台坐标系下晶圆3转动的角度； S4，根据所述晶圆圆心坐标a1，b1与缺口圆心坐标a2，b2，计算缺口在晶圆坐标系下的初始位置。
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