武汉梵佳鑫科技有限公司唐邦文获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉梵佳鑫科技有限公司申请的专利一种用于光刻的耐氢氟酸保护材料及其光刻工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115981100B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210965626.0，技术领域涉及：G03F7/039；该发明授权一种用于光刻的耐氢氟酸保护材料及其光刻工艺是由唐邦文;苏晓明设计研发完成，并于2022-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于光刻的耐氢氟酸保护材料及其光刻工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于光刻的耐氢氟酸保护材料及其光刻工艺，通过自制合成分子量分布窄的高性能酚醛树脂，与体系中的环状结构化合物、添加剂、溶剂混合后得到的材料粘度适中，与待蚀刻的基材间的附着力强、流平性好，而且具有优异的耐氢氟酸蚀刻性能，可以保护玻璃。此外，所得的用于光刻的耐氢氟酸保护材料具有良好的均一性，在光刻蚀工艺中能够有效减少崩坏不良的发生。本申请中所得的用于光刻的耐氢氟酸保护材料用于正性光刻胶，具有优异高耐热性能，可用于具有高温工艺的生产流程，在曝光工艺中能够形成良好的图形形貌，对比度好，而且具有高灵敏度和分辨率。
本发明授权一种用于光刻的耐氢氟酸保护材料及其光刻工艺在权利要求书中公布了：1.一种用于光刻的耐氢氟酸保护材料，其特征在于，按重量百分比计，其制备原料包括：10-40%的树脂、10~20%的环状结构化合物、50~90%的溶剂、1~3%的助剂； 所述树脂为改性酚醛树脂； 所述改性酚醛树脂的制备方法，具体包括如下步骤： S1.将10重量份第一单羟基甲酚、5~15重量份甲醛、0.03~0.07重量份催化剂加入到水中进行反应，加入中和剂中和至中性； S2.于S1所得产物中继续加入8重量份第二单羟基甲酚、5~15重量份甲醛、0.01~0.04重量份催化剂、3~10重量份2-羟基1-羟甲基萘，加热至70~85℃反应1~2.5h； S3.于S2所得产物中继续加入2~7重量份多羟基苯酚、2~8重量份4,4’-二羟基二苯醚，加热至80~95℃反应3~5h； S4.将S3所得产物进行水洗处理，分出水相，然后在40~70℃下干燥即得。
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