上海广川科技有限公司王贺明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种耐高温的机械人末端执行器、晶圆搬运装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115922763B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310047162.X，技术领域涉及：B25J15/06；该发明授权一种耐高温的机械人末端执行器、晶圆搬运装置和方法是由王贺明;武一鸣;杨琦;刘恩龙;曲泉铀;张平;周伟强;中岛隆志;川辺哲也;张菊;贾豪;李家璇;苗义;朱骏驰;王晨旭;张文磊设计研发完成，并于2023-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种耐高温的机械人末端执行器、晶圆搬运装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种耐高温的机械人末端执行器、晶圆搬运装置和方法，其中，机械人末端执行器，包括手臂和手指，所述手臂的末端连接所述手指，所述手臂中包括凹槽，所述凹槽内设置有隔热腔室、真空气路阀门和常压气路阀门；所述真空气路阀门和常压气路阀门均连接至隔热腔室；所述手指包括真空气道和真空吸盘，所述真空气道的一端连接隔热腔室，另一端连接真空吸盘；当需要吸附晶圆时，真空气路阀门打开，常压气路阀门关闭，使得隔热腔室、真空气道和真空吸盘形成真空；当需要松开晶圆时，真空气路阀门关闭，常压气路阀门打开，使得隔热腔室、真空气道和真空吸盘形成常压。本申请用于解决真空吸附式末端执行器无法耐受更高温度的问题。
本发明授权一种耐高温的机械人末端执行器、晶圆搬运装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种耐高温的机械人末端执行器，其特征在于，包括手臂和手指，所述手臂的末端连接所述手指，所述手臂中包括凹槽，所述凹槽内设置有隔热腔室、真空气路阀门和常压气路阀门；所述真空气路阀门和常压气路阀门均连接至隔热腔室；所述手指包括真空气道和真空吸盘，所述真空气道的一端连接隔热腔室，另一端连接真空吸盘，且所述隔热腔室的内部容积大于真空气道的内部容积；当需要吸附晶圆时，真空气路阀门打开，常压气路阀门关闭，利用隔热腔室隔离吸入的高温气体，并使得隔热腔室、真空气道和真空吸盘形成真空；当需要松开晶圆时，真空气路阀门关闭，常压气路阀门打开，对隔热腔室进行吹气将腔内高温气体排出，并使得隔热腔室、真空气道和真空吸盘形成常压。
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