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安徽天兵电子科技股份有限公司江川获国家专利权

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龙图腾网获悉安徽天兵电子科技股份有限公司申请的专利一种晶圆固定设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115910905B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211304785.2,技术领域涉及:H10P72/76;该发明授权一种晶圆固定设备是由江川;张东响;姚佳;杨丽平;徐婉苏设计研发完成,并于2022-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆固定设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆固定设备,涉及晶圆固定的技术领域,本发明通过驱动机构的气缸及升降杆带动夹紧组件的压板在限位块中向下移动,通过滚轮带动移动板朝向晶圆移动,移动板上的夹板对物料盘上的晶圆进行夹紧固定,多个晶圆能够同时进行夹紧固定,当松开晶圆时,只需要使气缸的活塞杆带动压板上移,在弹簧弹力的作用下能够使夹板远离晶圆,晶圆被松开,整个过程对晶圆的固定与松开均十分的方便。

本发明授权一种晶圆固定设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆固定设备,其特征在于:包括工作台1、上顶座2、夹紧组件5及驱动机构6,所述上顶座2固定于工作台1上,沿上顶座2的圆周均布有若干固定座3,且每个固定座3上均设有物料盘4,沿物料盘4的圆周均布有若干所述夹紧组件5,所述驱动机构6设于工作台1中并用于驱动夹紧组件5上的夹板51移动对晶圆进行固定; 所述夹紧组件5还包括限位块52、移动板54、压板58及弹簧57,所述限位块52通过连接板53与物料盘4连接,所述移动板54插接于限位块52上的安装槽中,夹板51固定于移动板54的内端,移动板54的外端固定有导向杆55,所述导向杆55滑动连接于限位块52外侧的支架56上且其外端固定有挡盘561,所述弹簧57套设于导向杆55上并位于支架56与挡盘561之间,所述移动板54上的开口槽541中转动连接有滚轮542,所述压板58插接于限位块52中且其一侧设有与滚轮542抵接的弧形压面581,压板58的底部连接有横板59,同一个物料盘4上的所有横板59连接有同一个连接盘591; 所述驱动机构6包括升降杆61及气缸63,每个连接盘591的底部均固定有一个所述升降杆61,所述升降杆61滑动连接于上顶座2上,所有升降杆61的下端连接于同一个升降板62,所述气缸63的缸体固定于工作台1中且其活塞杆上端与升降板62连接; 将需要加工的晶圆放置在物料盘4上,当物料盘4上均放置好晶圆后,控制气缸63的活塞杆回缩,从而带动升降板62及升降杆61下移,升降杆61通过连接盘591带动横板59及压板58下移,压板58上的弧形压面581通过滚轮542带动移动板54向晶圆的方向移动,并通过移动板54上的夹板51对晶圆进行夹紧固定,导向杆55上的弹簧57在挡盘561的作用下被压缩,接着对物料盘4上的晶圆进行加工,当晶圆加工完成后,控制气缸63的活塞杆伸长,从而带动压板58上移,在弹簧57弹力的作用下带动移动板54及其上的夹板51向外移动,晶圆被松开。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽天兵电子科技股份有限公司,其通讯地址为:241000 安徽省芜湖市弋江区白马街道白马村研发楼01室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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