广州华立学院肖金获国家专利权
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龙图腾网获悉广州华立学院申请的专利一种基于疏水性铜微米层的低温键合方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115910803B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211392929.4,技术领域涉及:H10W70/02;该发明授权一种基于疏水性铜微米层的低温键合方法是由肖金;严继超;屈福康;李武初设计研发完成,并于2022-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于疏水性铜微米层的低温键合方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于疏水性铜微米层的低温键合方法,先在铜基板上电沉积制备出的铜微米针层;在镀铟液中加入混合物;将铜微米针层放在含有混合物的镀铟液中进行电镀,在铜微米针层表层形成松木状的纳米铟层;得到具有松木状铜铟二级微纳米层基板;然后将石墨烯均匀覆盖在松木状铜铟二级微纳米层上;将其与Sn‑Ag‑Cu合金焊球进行键合;加入混合物使镀铟液在铜微米针层表层形成松木状的纳米铟层,与焊料键合后的剪切强度大;加入石墨烯避免了铜与锡的直接接触,延缓了铜锡化合物的生长,本发明所需键合温度低,通过引入超声能量,降低键合压力,减少键合时间,实现瞬态键合,键合互连可靠性提高,键合不需要保护氛围,节约能耗。
本发明授权一种基于疏水性铜微米层的低温键合方法在权利要求书中公布了:1.一种基于疏水性铜微米层的低温键合方法,其特征在于:包括以下步骤: S1、在铜基板上电沉积制备出的铜微米针层; S2、在镀铟液中加入混合物,混合物包括电解液、聚乙二醇、健那绿和CI离子; S3、将铜微米针层放在含有混合物的镀铟液中进行电镀,在铜微米针层表层形成松木状的微纳米铟层;得到具有松木状铜铟二级微纳米铟层基板; S4、将石墨烯均匀覆盖在松木状铜铟二级微纳米铟层上; S5、将涂有石墨烯的松木状铜铟二级微纳米铟层与Sn-Ag-Cu合金焊球相对设置在超声键合仪上,涂有石墨烯的松木状铜铟二级微纳米铟层与Sn-Ag-Cu合金焊球形成接触区域; S6、启动超声键合仪和加载机,涂有石墨烯的松木状铜铟二级微纳米铟层与Sn-Ag-Cu合金焊球进行键合。
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