中国工程物理研究院激光聚变研究中心谌桂萍获国家专利权
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龙图腾网获悉中国工程物理研究院激光聚变研究中心申请的专利一种适用于大口径高陡度非球面的高精度补偿器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115638959B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211262261.1,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种适用于大口径高陡度非球面的高精度补偿器是由谌桂萍;张清华;温圣林;李海波;唐才学;颜浩;嵇保建;邓燕;李昂;杨春林;欧阳升设计研发完成,并于2022-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于大口径高陡度非球面的高精度补偿器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种适用于大口径高陡度非球面的高精度补偿器,包括:沿同一光轴依次设置的补偿镜和场镜组,补偿镜用于平衡待测非球面的初级球差,场镜组用于将补偿镜成像在待测非球面上,并平衡待测非球面的高级球差,场镜组包括沿光轴依次设置的第一场镜和第二场镜。本发明可以实现非球面高精度检测,为同等难度及其以下的非球面高精度检测提供了一种有效的初始结构。
本发明授权一种适用于大口径高陡度非球面的高精度补偿器在权利要求书中公布了:1.一种适用于大口径高陡度非球面的高精度补偿器,其特征在于,包括:沿同一光轴依次设置的补偿镜和场镜组,所述补偿镜用于平衡待测非球面的初级球差,所述场镜组用于将补偿镜成像在待测非球面上,并平衡待测非球面的高级球差; 场镜组焦距为, 式中,、、和分别代表场镜组焦距、补偿镜半口径、待测非球面顶点曲率半径、待测非球面口径和场镜组到待测非球面顶点曲率中心的距离; 补偿镜焦距为, 、、和分别表示补偿镜焦距、待测非球面二次项系数、场镜组垂轴放大率、补偿镜与场镜组的组合放大率,、分别是场镜组、补偿镜引入的赛得和数PW形式; 所述场镜组包括沿光轴依次设置的第一场镜和第二场镜; 按照光线传播方向所述补偿镜前后表面曲率半径分别为: ; ; 所述第一场镜和所述第二场镜前后表面曲率半径相同,均为: ; ; 式中,分别代表补偿镜前后表面曲率半径,代表第一场镜和第二场镜的前表面曲率半径,代表第一场镜和第二场镜的后表面曲率半径,n11、n12表示补偿镜前后表面折射率,n1表示第一场镜和第二场镜的前表面折射率,n2表示第一场镜和第二场镜的后表面折射率; 所述补偿镜通光半孔径为155mm;补偿镜前后表面曲率半径分别为4512.735mm、-254.460mm,第一场镜的前后表面曲率半径分别为1314.578mm、-918.738mm,第二场镜的前后表面曲率半径分别为205.778mm、197.298mm,激光点光源和补偿镜间隔为1255.050mm,补偿镜和第一场镜间隔为462.994mm,第一场镜和第二场镜间隔为71.037mm,第二场镜和待测非球面间隔为4601.359mm,补偿镜、第一场镜和第二场镜的厚度分别为80mm、15mm、32mm。
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