南京大学叶建东获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利基于自组装Ni纳米岛的JBS功率二极管及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115621327B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110792656.1,技术领域涉及:H10D8/60;该发明授权基于自组装Ni纳米岛的JBS功率二极管及其制备方法是由叶建东;胡天澄;巩贺贺;郁鑫鑫;徐阳;张贻俊;任芳芳;顾书林;张荣设计研发完成,并于2021-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于自组装Ni纳米岛的JBS功率二极管及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提出了一种基于自组装Ni纳米岛的JBS功率二极管及其制备方法。该二极管的结构包括自下而上依次设置的阴极、N+衬底、JBS结构和阳极,JBS结构包括N‑漂移层、PN异质结和Ni纳米岛,其中,N‑漂移层上设有沟槽结构,位于沟槽内侧面和底部的P型金属氧化物与N‑漂移层构成PN异质结;Ni纳米岛位于沟槽的顶部,与N‑漂移层形成肖特基接触;PN异质结与肖特基接触相并联。本发明利用Ni薄膜在快速热退火下形成的自组装纳米岛代替光刻胶作为掩膜,省去了光刻的步骤,大大简化了制备工艺,不仅缩短了制备周期,而且节约了成本。
本发明授权基于自组装Ni纳米岛的JBS功率二极管及其制备方法在权利要求书中公布了:1.基于自组装Ni纳米岛的JBS功率二极管的制备方法,其特征在于,该方法的步骤为:在衬底表面蒸镀一层Ni薄膜,再进行快速热退火,利用Ni薄膜在快速热退火下形成的自组装Ni纳米岛作为金属掩膜,对N-漂移层进行刻蚀形成沟槽结构,然后在沟槽结构中生长P型金属氧化物,位于沟槽内侧面和底部的金属氧化物与所述N-漂移层形成侧向PN异质结,且该侧向PN异质结与沟槽顶部的Ni纳米岛形成的肖特基接触相并联,从而形成JBS结构。
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