盛美半导体设备(上海)股份有限公司王鹤获国家专利权
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龙图腾网获悉盛美半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利翻转装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115621181B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110790558.4，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权翻转装置是由王鹤;李亚洲;贾社娜;陶晓峰;王晖设计研发完成，并于2021-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本翻转装置在说明书摘要公布了：本发明提出了一种翻转装置，包括支架本体、旋转驱动器和夹紧装置，支架本体两侧壁的内侧面上形成有多条分隔板，相邻分隔板之间形成用于放置晶圆的载片槽，支架本体两侧壁的外侧面形成有旋转轴；旋转驱动器与至少一个旋转轴连接以驱动支架本体旋转；夹紧装置设置在支架本体的侧壁上，用于压紧或释放放置在载片槽内的晶圆。在本发明中，通过在保持晶圆的支架本体上设置夹紧装置，支架本体旋转时由夹紧装置固定晶圆，能够有效避免晶圆随支架本体改变姿态时，晶圆在支架本体内晃动，导致碎片或表面划伤。
本发明授权翻转装置在权利要求书中公布了：1.一种翻转装置，其特征在于，包括： 支架本体，所述支架本体两侧壁的内侧面上形成有多条分隔板，相邻分隔板之间形成用于放置晶圆的载片槽，所述支架本体两侧壁的外侧面形成有旋转轴； 旋转驱动器，所述旋转驱动器与至少一个旋转轴连接以驱动支架本体旋转；以及 夹紧装置，所述夹紧装置设置在支架本体的侧壁上，用于压紧或释放放置在载片槽内的晶圆； 其中，所述夹紧装置包括： 壳体，固定在支架本体的侧壁上； 活塞，滑动设置于壳体内，并由气源提供驱动力； 伸缩杆，滑动设置于壳体内，其一端与活塞固定连接； 复位弹簧，设于壳体的另一端并与伸缩杆的另一端相连，用于使活塞及伸缩杆复位； 多个限位槽，开设于壳体一侧，沿伸缩杆长度方向布置； 多个限位杆，其一端固定在伸缩杆上，另一端穿过各自对应的限位槽，限位杆经伸缩杆带动在限位槽内滑动，压紧或释放放置在载片槽内的晶圆。
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