买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利气体流量控制方法及装置、电子设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115621164B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211262063.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权气体流量控制方法及装置、电子设备和存储介质是由陈三城;邱世清;杨抗设计研发完成，并于2022-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体流量控制方法及装置、电子设备和存储介质在说明书摘要公布了：本公开是关于一种气体流量控制方法及装置、电子设备以及计算机可读存储介质，涉及半导体生产与制造技术领域，可以应用于半导体制程中氮气相关机台的使用场景。该方法包括：响应于待加工产品到达目标装载口的产品到达事件，确定待加工产品对应的待加工生产批次；获取机台配置参数；机台配置参数包括机台装载口中至少一生产批次对应的气体流量预测值；从机台配置参数中确定到达目标装载口的待加工生产批次对应的目标流量预测值；根据目标流量预测值，控制机台向到达目标装载口的待加工产品吹扫气体。本公开可以自动配置机台装载口的气体吹扫量，无需人为提前设定，实现了机台吹扫气体的自动化控制，可以有效缩短制程时间，并提高产品良率。

本发明授权气体流量控制方法及装置、电子设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种气体流量控制方法，其特征在于，包括： 响应于待加工产品到达目标装载口的产品到达事件，确定所述待加工产品对应的待加工生产批次； 获取机台配置参数；所述机台配置参数包括机台装载口中至少一生产批次对应的气体流量预测值； 从所述机台配置参数中确定到达所述目标装载口的待加工生产批次对应的目标流量预测值； 根据所述目标流量预测值，控制机台向到达所述目标装载口的待加工产品吹扫气体; 其中，所述气体流量预测值通过下述步骤得到： 获取所述机台包含的至少一装载口； 确定即将到达每个所述装载口的所述待加工产品对应的所有生产批次； 获取每个所述生产批次各自对应的生产批次编号； 根据所述生产批次编号，依次确定每个所述生产批次对应的气体流量预测值，所述根据所述生产批次编号，依次确定每个所述生产批次对应的气体流量预测值，包括： 基于所述生产批次编号确定待预测生产批次； 获取预先配置的参考生产批次数量，根据所述参考生产批次数量，确定与所述待预测生产批次对应的生产批次集合；所述生产批次集合包括至少一参考生产批次； 获取每个所述参考生产批次各自对应的气体流量实际值； 根据获取到的所述气体流量实际值，确定所述待预测生产批次对应的气体流量预测值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人长鑫存储技术有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。