细美事有限公司崔伦硕获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497801B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210693269.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由崔伦硕;赵顺天;金润相设计研发完成，并于2022-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理装置及基板处理方法。该基板处理装置包括：在其中形成用于处理基板的内部空间的工艺腔室、用于将该内部空间划分为等离子体生成空间和处理空间的离子阻挡器、用于该处理空间中支承基板的基板支承单元、用于排放处理空间的排放单元、定位在离子阻挡器的上方并通过离子阻挡器将用于退火的能量传输至基板的退火源、和用于将工艺气体供应至等离子体生成空间的气体供应单元，其中，离子阻挡器包括：本体，该本体成形为类似盘、由微波可传输的材料制成、且形成有多个通孔；以及透明导电氧化物膜，该透明导电氧化物膜以第一厚度或更小的厚度设置在本体的上表面和下表面中的至少一个上。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，所述基板处理方法包括： 第一工艺，所述第一工艺将工艺气体激发成等离子体、并且用已经穿过离子阻挡器的基团处理基板，所述离子阻挡器阻挡所述等离子体中的离子；以及 第二工艺，所述第二工艺将已经传输通过所述离子阻挡器的第一能量施加至所述基板， 其中，所述离子阻挡器由光、热和微波能够传输通过的材料制成， 其中，所述第一工艺和所述第二工艺在一个腔室中执行， 其中，所述离子阻挡器包括： 本体，所述本体成形为类似盘，且由光、热和微波能够传输通过的材料制成， 其中，所述本体由石英材料制成。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司，其通讯地址为：韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励