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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利测试表面粒子污染的粒子测试系统、采样条、投射曝光设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115413332B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180028836.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权测试表面粒子污染的粒子测试系统、采样条、投射曝光设备和方法是由M.席林;M.鲁斯;M.纳格尔设计研发完成，并于2021-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本测试表面粒子污染的粒子测试系统、采样条、投射曝光设备和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于测试表面2上的粒子污染的粒子测试系统1，包括用于接收粒子5的采样带7和采样装置3。采样装置3包括辊体9，该辊体9设置成在辊体的外表面10上引导采样带7。采样装置3被设计用于将辊体9与采样带7一起在待测试的表面2上滚动，以便将粒子5从待测试的表面2转移到所述采样带7。采样装置3具有引导框22以便将采样装置3在所述待检查的表面2上或相邻于所述待检查的表面2定位。引导框22具有至少一个接触接口24、25，通过至少一个接触接口24、25，引导框22搁置在待检查的表面2上或另一表面上。根据本发明，采样装置3具有第一测量装置16和或第二测量装置19。第一测量装置16被设计用于检测辊体9的任何转动运动。第二测量装置19被设计用于检测辊体9在待检查的表面2上的任何接触压力。

本发明授权测试表面粒子污染的粒子测试系统、采样条、投射曝光设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于检查表面2的粒子污染的粒子检查系统1，具有用于吸取粒子5的采样条7和采样装置3，其中所述采样装置3具有辊体9，所述辊体9设置成在其外表面10上引导采样条7，并且其中所述采样装置3设置成将所述辊体9与采样条7一起抵靠待检查的表面2滚动，以便将粒子5从所述待检查的表面2转移到所述采样条7，其中，所述采样装置3具有引导框22以便将所述采样装置3定位在所述待检查的表面2上或在所述待检查的表面2旁边，其中所述引导框22具有至少一个定位接口24、25，通过所述至少一个定位接口24、25，所述引导框22位于所述待检查的表面2上或另一表面上，并且其中所述采样装置3 a具有被设计用于检测所述辊体9的任何转动运动的第一测量装置16；和或 b具有被设计用于检测所述辊体9在所述待检查的表面2上的任何接触压力的第二测量装置19， 其中，所述辊体9在所述采样装置3中相对于所述待检查的表面2弹性地安装。

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