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苏州芯睿科技有限公司邱新智获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州芯睿科技有限公司申请的专利一种晶圆的解键合装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115274502B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210879598.0,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种晶圆的解键合装置是由邱新智设计研发完成,并于2022-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆的解键合装置在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆技术领域,尤其是一种晶圆的解键合装置,包括:解键合机体台、解键合头、解键合座和晶圆,还包括:放料座、分离座,放料座、分离座均固定在解键合机体台的上侧;旋转盘,旋转盘设在解键合机体台的上侧,旋转盘与解键合机体台之间设有双重驱动组件;三个连接板,连接板均固定在旋转盘的外侧;三个搬运环,搬运环分别均固定在连接板一侧上,解键合座、放料座、分离座均可设在搬运环内侧;滑动架,滑动架可滑动在解键合机体台的上侧。本发明,通过设置放料座、分离座、旋转盘、连接板、搬运环、滑动架、定位架、固定罩,使其具有自动换料、连续加工、自动下料、自动分类、自动叠摞功能。

本发明授权一种晶圆的解键合装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆的解键合装置,包括:解键合机体台1、解键合头2、解键合座3和晶圆4,其特征在于,还包括: 放料座5、分离座6,所述放料座5、分离座6均固定在解键合机体台1的上侧; 旋转盘7,所述旋转盘7设在解键合机体台1的上侧,所述旋转盘7与解键合机体台1之间设有双重驱动组件; 三个连接板8,所述连接板8均固定在旋转盘7的外侧; 三个搬运环9,所述搬运环9分别均固定在连接板8一侧上,所述解键合座3、放料座5、分离座6均可设在搬运环9内侧; 滑动架10,所述滑动架10可滑动在解键合机体台1的上侧,所述滑动架10一侧设有自动滑动组件,所述滑动架10一侧设有取放料组件,所述解键合机体台1上侧设有分类存料组件; 所述双重驱动组件包括固定罩12,所述固定罩12固定在解键合机体台1的上侧,所述固定罩12上侧设有通孔,所述固定罩12顶部内侧固定设有A伺服电机13,所述A伺服电机13需通过导线外接驱动控制器和电源,所述A伺服电机13的轴端固定设有方杆14,所述方杆14外侧可滑动设有导向套15,所述旋转盘7一侧设有方孔,所述导向套15固定在方孔内侧,所述固定罩12上侧固定设有支撑环架16,所述支撑环架16上侧设有若干安装孔,所述安装孔内侧均固定设有A电动伸缩推杆17,所述A电动伸缩推杆17均需通过导线外接电源可开关,所述旋转盘7下侧可转动设有旋转环18,所述A电动伸缩推杆17的轴端均固定在旋转环18的下侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯睿科技有限公司,其通讯地址为:215124 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区3栋201室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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