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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆清洗设备及其晶圆清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114864444B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210493051.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权晶圆清洗设备及其晶圆清洗方法是由张鹏飞设计研发完成，并于2022-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆清洗设备及其晶圆清洗方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆清洗设备，包括晶圆传送组件、工艺传输机构和干燥传输机构，晶圆传送组件用于取出晶圆盒中的待清洗晶圆或将已干燥晶圆放回晶圆盒中；工艺传输机构用于将晶圆传送组件获取的待清洗晶圆传入晶圆清洗模块中清洗，并用于将晶圆清洗模块的已清洗晶圆传入干燥模块中干燥；干燥传输机构用于在干燥模块中承载已清洗晶圆并将已干燥晶圆传输至晶圆传送组件。在本发明中，工艺传输机构仅用于将晶圆传入晶圆清洗模块中以及传入干燥模块中，已干燥晶圆由干燥传输机构传输至晶圆传送组件，既节省了工艺传输机构传输待干燥的晶圆及进行洗手的时间，又保证了晶圆表面的洁净度。本发明还提供一种晶圆清洗方法。

本发明授权晶圆清洗设备及其晶圆清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗设备，包括干燥模块和至少一个晶圆清洗模块，其特征在于，所述晶圆清洗设备还包括晶圆传送组件、工艺传输机构和干燥传输机构，所述晶圆传送组件用于取出晶圆盒中的待清洗晶圆或将已干燥晶圆放回所述晶圆盒中；所述工艺传输机构用于将所述晶圆传送组件获取的所述待清洗晶圆传入所述晶圆清洗模块中清洗，并且用于将所述晶圆清洗模块的已清洗晶圆传入所述干燥模块中干燥；所述干燥传输机构用于在所述干燥模块中承载所述工艺传输机构传入的已清洗晶圆进行干燥并将所述已干燥晶圆传输至所述晶圆传送组件，以使所述晶圆传送组件将所述已干燥晶圆放回所述晶圆盒中， 所述晶圆传送组件包括晶圆传输机构、第一传输模组和第二传输模组； 所述干燥传输机构包括水平竖直传输模组和晶圆支撑机构，所述干燥传输机构用于将所述干燥模块中的所述已干燥晶圆传输至所述第二传输模组的出片工位； 所述晶圆支撑机构包括固定板和多根支撑杆； 所述第二传输模组的第二晶圆传动机构包括多个支撑齿板，多个所述支撑齿板均竖直设置且与多根所述支撑杆平行，多个所述支撑齿板的顶部边缘上形成有多个卡槽，且多个所述支撑齿板上的多个所述卡槽的位置一一对应；所述晶圆支撑机构水平运动至所述出片工位时多个所述支撑杆在水平面上的投影均与多个所述支撑齿板在水平面上的投影错开，所述水平竖直传输模组用于驱动所述晶圆支撑机构下降，以使所述晶圆支撑机构上承载的多片所述已干燥晶圆转载至多个所述支撑齿板上对应的卡槽。

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