中国科学院半导体研究所陈振宇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院半导体研究所申请的专利制备InGaN量子点的方法、InGaN量子点、外延结构及光电器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114628554B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210254828.4,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权制备InGaN量子点的方法、InGaN量子点、外延结构及光电器件是由陈振宇;赵德刚;梁锋;刘宗顺;陈平;杨静设计研发完成,并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本制备InGaN量子点的方法、InGaN量子点、外延结构及光电器件在说明书摘要公布了:本公开提供了一种制备InGaN量子点的方法、InGaN量子点、外延结构及光电器件。方法包括:第一温度下,在衬底上生长GaN缓冲层;将第一温度升至第二温度,并在第二温度下,在GaN缓冲层上生长非掺杂GaN层;将第二温度降低至设定温度,在非掺杂GaN层上生长InGaN量子阱层;在设定温度下,通入NH3,持续生长反应至第一时间,在InGaN量子阱层上获得InGaN量子点,其中,通入NH3流量为1~10slm。通过NH3流量改变获得不同直径不同密度的InGaN量子点,进一步优化了InGaN量子点的发光性能,包括发光波长以及发光强度,推进了InGaN量子点在InGaN基光电器件中的应用。
本发明授权制备InGaN量子点的方法、InGaN量子点、外延结构及光电器件在权利要求书中公布了:1.一种制备InGaN量子点的方法,其特征在于,包括: 第一温度下,在衬底上生长GaN缓冲层; 将所述第一温度升至第二温度,并在所述第二温度下,在所述GaN缓冲层上生长非掺杂GaN层; 将所述第二温度降低至设定温度,在所述非掺杂GaN层上生长InGaN量子阱层; 在所述设定温度下,通入NH3,持续生长反应至第一时间,在所述InGaN量子阱层上获得InGaN量子点,其中,所述通入NH3流量为1~10slm;随着NH3流量的变化,InGaN量子点的直径调控范围为10~50nm,InGaN量子点的密度调控范围为1×1010cm-2至1×1011cm-2; 其中,所述设定温度为600~700℃;所述InGaN量子阱层的厚度为1~5nm;所述InGaN量子阱层的材料为InxGa1-xN,其中In组分x为25%~50%连续可调。
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