中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司李相龙获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司申请的专利一种尾气排除系统、排除方法及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114551273B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011341241.4，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种尾气排除系统、排除方法及半导体设备是由李相龙;李俊杰;李琳;王佳;周娜设计研发完成，并于2020-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种尾气排除系统、排除方法及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种尾气排除系统、排除方法及半导体设备，属于半导体制造技术领域，解决了现有技术中通过更换末端执行臂来防止副产物飞散到晶圆上的方式造成生产效率低下的问题。尾气排除系统包括设于末端执行臂表面的多个微孔、多支路混合腔体、控制阀和排放管线，排放管线包括位于末端执行臂内部的第一排放管线和位于末端执行臂外部的第二排放管线，多支路混合腔体上设有出气孔和多个进气孔，进气孔的数量与微孔的数量相同，微孔和进气孔之间通过第一排放管线连接，多个微孔的气体汇集于多支路混合腔体，出气孔和控制阀通过第二排放管线连接。本发明实现了从根本上防止副产物的产生。
本发明授权一种尾气排除系统、排除方法及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种尾气排除系统，其特征在于，包括设于末端执行臂表面的多个微孔及与所述微孔连通的尾气排吸系统，所述尾气排吸系统包括多支路混合腔体、用于控制所述尾气排除系统开闭的控制阀和排放管线； 所述排放管线包括位于末端执行臂内部的第一排放管线和位于末端执行臂外部的第二排放管线，所述第一排放管线与所述微孔连通，所述多支路混合腔体的一侧与第一排放管线连通，多支路混合腔体的另一侧与第二排放管线连通； 所述多支路混合腔体上设有出气孔和多个进气孔，所述进气孔的数量与第一排放管线的数量相同，所述微孔和所述进气孔之间通过所述第一排放管线连接，通过多个微孔抽吸的气体汇集于多支路混合腔体； 所述出气孔和所述控制阀通过所述第二排放管线连接。
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