中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司金根浩获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司申请的专利一种晶圆传送机械臂夹、半导体加工设备和晶圆传送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011254619.7，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种晶圆传送机械臂夹、半导体加工设备和晶圆传送方法是由金根浩;周娜;李琳;王佳;李俊杰设计研发完成，并于2020-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传送机械臂夹、半导体加工设备和晶圆传送方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆传送机械臂夹、半导体加工设备和晶圆传送方法，属于半导体输送设备技术领域，解决了现有技术中半导体制造设备的传送设备在晶圆传送过程中的晶圆歪斜问题以及因此造成晶圆破损和后续工艺质量下滑的问题。本发明公开了一种晶圆传送机械臂夹，包括单组或多组夹爪，机械臂夹以夹取的方式实现晶圆的拾取和放置；夹爪包括固定部分和可移动部分；可移动部分与固定部分通过导向装置和防脱落装置连接，导向装置对可移动部分的移动方向和轨迹起导向作用，防脱落装置用于防止可移动部分沿导向装置移动后脱离固定部分。本发明实现了半导体制造设备中传输设备机械手夹取晶圆歪斜的自调整。
本发明授权一种晶圆传送机械臂夹、半导体加工设备和晶圆传送方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送机械臂夹，其特征在于，包括单组或多组夹爪，机械臂夹以夹取的方式实现晶圆的拾取和放置； 所述夹爪包括固定部分和可移动部分，可移动部分为上下可移动； 所述可移动部分与固定部分通过导向装置和防脱落装置连接，导向装置对可移动部分的移动方向和轨迹起导向作用，防脱落装置用于防止可移动部分沿导向装置移动后脱离固定部分；所述夹爪的纵截面形状为直角梯形；所述夹爪的固定侧为直角梯形的底边侧；所述夹爪的工作侧为直角梯形的斜边侧；所述夹爪的固定部分的顶面设有密封圈安装槽，密封圈安装槽内放置有密封圈。
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