杭州晶驰机电有限公司郭寅生获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州晶驰机电有限公司申请的专利进气结构及晶体生长炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224212828U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521169570.3,技术领域涉及:C30B23/00;该实用新型进气结构及晶体生长炉是由郭寅生设计研发完成,并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本进气结构及晶体生长炉在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种进气结构及晶体生长炉,涉及碳化硅晶体生长技术领域,本实用新型提供的进气结构包括进气管和透光镜,进气管具有独立设置的主进气通道和辅进气通道,主进气通道和辅进气通道均沿进气管的轴向延伸,透光镜安装于进气管且位于辅进气通道的一端。本实用新型提供的进气结构能够保证气体在生产腔体内更为均匀的分布,辅进气通道进入的气体还能够避免灰渣在透光镜上沉积,使得进气管的进气功能、作为监测通道的辅助监测功能、防止碳化硅蒸汽在透光镜上镀膜的防镀膜功能以及防止渣灰粉尘沾污透光镜的吹扫功能进行有机结合。
本实用新型进气结构及晶体生长炉在权利要求书中公布了:1.一种进气结构,其特征在于,包括进气管1和透光镜2,所述进气管1具有独立设置的主进气通道11和辅进气通道12,所述主进气通道11和所述辅进气通道12均沿所述进气管1的轴向延伸,所述透光镜2安装于所述进气管1且位于所述辅进气通道12的一端。
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