江苏首芯半导体科技有限公司李继刚获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏首芯半导体科技有限公司申请的专利沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224212756U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520822087.4，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型沉积设备是由李继刚;王彬;张国伟设计研发完成，并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积设备在说明书摘要公布了：本公开实施例涉及半导体制造领域，提供一种沉积设备，沉积设备包括腔体、进气机构、抽气口、基座、晶圆加热器以及冷却系统；冷却系统包括第一管道、第二管道、冷却源组件以及控制器，至少部分第一管道设置在基座内，至少部分第二管道设置在腔体侧壁内，第一管道以及第二管道与冷却源组件连接，冷却源组件为第一管道提供冷却液以冷却晶圆，冷却源组件为第二管道提供冷却液以冷却腔体，控制器与冷却源组件连通，用于控制第一管道以及第二管道内的冷却液流速。本公开实施例至少可以提升制备薄膜的可靠性和效率，还可以减小沉积设备的制备成本。
本实用新型沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种沉积设备，其特征在于，包括： 腔体； 进气机构，所述进气机构设置于所述腔体顶部，所述进气机构具有进气孔以及与所述进气孔相连通的进气管道，所述进气管道与所述腔体相连通，所述进气孔用于连通提供气体的进气管； 抽气口，所述抽气口与所述腔体相连通； 基座，所述基座设置有用于承载晶圆的承载面，所述基座位于所述腔体内； 晶圆加热器，所述晶圆加热器设置在所述基座内，用于加热所述晶圆； 冷却系统，所述冷却系统包括第一管道、第二管道、冷却源组件以及控制器，至少部分所述第一管道设置在所述基座内，至少部分所述第二管道设置在所述腔体侧壁内，所述第一管道以及所述第二管道与所述冷却源组件连接，所述冷却源组件为所述第一管道提供冷却液以冷却所述晶圆，所述冷却源组件为所述第二管道提供所述冷却液以冷却所述腔体，所述控制器与所述冷却源组件连通，用于控制所述第一管道以及所述第二管道内的所述冷却液流速。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏首芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励